（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811330692.0 （22）申请日 2018.11.09
（71）申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
地址 518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
（10）申请公布号 CN109638078A
（43）申请公布日 2019.04.16
（72）发明人 周星宇
（74）专利代理机构 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人 黄威
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
TFT的制备方法、TFT、OLED背板和显示装置
（57）摘要
本发明实施例公开了一种TFT的制备方
法、TFT、OLED背板和显示装置，本发明实施例中方法包括：利用黑色光阻材料在玻璃基板上形成遮光层；在遮光层之上依次沉积缓冲层、第一半导体层、第一栅极绝缘层和栅极金属层；将栅极金属层下方之外的第一栅极绝缘层蚀刻掉，得到第二栅极绝缘层；对第一半导体层进行等离子处理处理，使得第二栅极绝缘层未遮挡的第一半导体层形成导体层，剩余的形成第二半导体层；
依次沉积层间绝缘层、源漏极金属层、钝化层、平坦化层、像素电极层以及像素定义层。本发明实施例中可以降低平坦化层的厚度，提升了曝光工艺的准确度，增加TFT对应的OLED发光区的平坦度。
法律状态
法律状态公告日
2019-04-16 2019-04-16 2019-05-10
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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公开 公开
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权利要求说明书
TFT的制备方法、TFT、OLED背板和显示装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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