作者： 杨飞飞[1];张雁东[1];崔龙辉[1]
作者机构： [1]山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000出版物刊名： 山西能源学院学报页码： 100-102页年卷期： 2019年 第4期
主题词： PECVD;电池片;镀膜;石墨舟
摘要：本文主要研究管式PECVD后期使用中的镀膜均匀性问题,通过对镀膜沉积的工艺条件、石墨舟饱和工艺参数的分析研究,找出最优的沉积条件与参数,经过改善后,电池片镀膜整体质量有很大提升,片内与片间镀膜颜色的一致性得到保障。
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