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晶圆级封装方法及封装结构[发明专利]

来源:筏尚旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:晶圆级封装方法及封装结构专利类型:发明专利发明人:王景道,姜利军申请号:CN201410241624.2申请日:20140603公开号:CN103985642A公开日:20140813

摘要:本发明提供一种晶圆级封装方法及封装结构,所述封装方法包括如下步骤:提供一第一基板和一第二基板;在所述第一基板和第二基板的表面形成焊环;以所述第一基板的焊环和第二基板的焊环为中间层,对所述第一基板及第二基板进行键合,所述第一基板的焊环与所述第二基板的焊环形成深腔,所述深腔用于容纳外部器件。本发明的优点在于,所述第一基板的焊环与所述第二基板的焊环形成深腔,所述深腔用于容纳外部器件。本发明采用加厚的焊环形成的深腔替代深腔刻蚀或额外的深腔环,大大简化了结构及工艺。

申请人:杭州大立微电子有限公司

地址:310053 浙江省杭州市滨江区滨康路639号二区2402室

国籍:CN

代理机构:上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)

代理人:孙佳胤

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