专利名称:一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法专利类型:发明专利发明人:辛青,李泾渭,侯昌伦申请号:CN201910491332.7申请日:20190606公开号:CN110360923A公开日:20191022
摘要:本发明公开了一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法;相移干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机,所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上,所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测,所述镜面旋转器位于被测物底部;通过旋转被侧面的角度达到相移的目的,而不使用传统的相移器,物体无需在轨道上移动,如此便可以节省空间,使干涉仪不在受到长度的。
申请人:杭州电子科技大学
地址:310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
国籍:CN
代理机构:杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:杨舟涛
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