一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法[发明专利]

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专利名称：一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法专利类型：发明专利发明人：辛青,李泾渭,侯昌伦申请号：CN201910491332.7申请日：20190606公开号：CN110360923A公开日：20191022

摘要：本发明公开了一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法；相移干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机，所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上，所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测，所述镜面旋转器位于被测物底部；通过旋转被侧面的角度达到相移的目的，而不使用传统的相移器，物体无需在轨道上移动，如此便可以节省空间，使干涉仪不在受到长度的。

申请人：杭州电子科技大学

地址：310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

国籍：CN

代理机构：杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：杨舟涛

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