专利名称：一种Ti-Al合金靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,边逸军,潘杰,王学泽,江胜君申请号：CN202010809266.6申请日：20200812公开号：CN111962032A公开日：20201120
摘要：本发明涉及一种Ti‑Al合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钛粉和铝粉在保护气氛下混合，得到混粉；(2)将步骤(1)得到的混粉置于包套中依次进行第一脱气处理、第一热等静压处理、第二脱气处理及第二热等静压处理，之后将所述包套去除经机加得到所述Ti‑Al合金靶材。本发明提供的制备方法通过对制备过程中工艺步骤的重新设计，使得制备得到的靶材在溅射过程中避免了弧光放电的产生，提高了溅射过程中镀膜和镀件的结合度，强化了镀膜效果，进而延长了靶材的使用寿命。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315400 浙江省杭州市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
国籍：CN
代理机构：北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人：王岩
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容