深圳钰创合成光电技术有限公司 标 题 扩晶机作业指导书 制订部门 编号 版次 WI-LEDSOP-19 页 次 生效日期 1 工程部 A0 2016.8.1 1. 目的 规范生产作业，提高生产效率及产品品质. 2. 范围 LED产品固晶前的扩晶工序. 3. 职责 3.1设备部：制定及修改此作业指导书. 3.2生产部：按照此作业指导书作业. 3.3品质部：监督生产作业是否按作业指导书之要求作业. 4. 作业内容 4.1机台介绍 4.2 操作流程 4.2.1 将电源开关以及加热开关打开 批准 日期 审核 日期 制定 日期 何志浩 2016.8.1 深圳钰创合成光电技术有限公司 标 题 扩晶机作业指导书 制订部门 编号 版次 WI-LEDSOP-19 页 次 生效日期 2 工程部 A0 2016.8.1 4.2.2 将固晶环内环放置在加热盘上 4.2.3 将固晶环套在芯片蓝膜与内环上 4.2.4 将压膜架放下扣住，打开下气缸开关然后在打开上气缸开关 4.2.5 讲压膜架松开，抬起，取出已扩好的芯片 5. 注意事项 6.1全程必须开启离子风机 6.2 温度设定不要随意更改 6.3 晶片膜位置放置尽量合理 6. 保养规范 7.1 机台表面清洁 7. 所用表单 1：《设备保养表》 修订履历： 修订日期 修订内容 版次 批准 日期 审核 日期 制定 日期 何志浩 2016.8.1