专利名称：一种PPT级超纯氨水的制备方法专利类型：发明专利发明人：曹文明,吴国新,张海申请号：CN201610086184.7申请日：20160216公开号：CN105523570A公开日：20160427
摘要：本发明公开了一种PPT级超纯氨水的制备方法，包括依次且连续进行的如下步骤：（1）汽化；（2）净化过滤；（3）树脂吸附；（4）洗涤；（5）水气分离；（6）多级吸收；（7）超滤。上述方法所得的超纯氨水中，大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml，大于等于0.2μm颗粒浓度小于30？p/ml，单项金属离子含量小于30ppt，实测小于20ppt。本发明一种PPT级超纯氨水的制备方法，工艺流程简单，容易实现，其先通过合理的除杂工艺，得到纯净的氨气，再通过超纯水多级吸收得到ppt级超纯氨水，且该制备方法所用设备少，易于操作，生产成本低。
申请人：江苏达诺尔科技股份有限公司
地址：215500 江苏省苏州市常熟经济开发区氟化学工业园
国籍：CN
代理机构：北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张建生
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