汽车歧管绝压传感器[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：汽车歧管绝压传感器专利类型：实用新型专利

发明人：郭宏,王莉莎,申爱群,师斌,庞晓华申请号：CN201020126949.3申请日：20100309公开号：CN201697743U公开日：20110105

摘要：本实用新型公开的是一种汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表而电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成一敏感元件。本实用新型具有能够抗振动、抗冷热冲击、抗过载、抗电磁干扰的能力以及体积小、结构灵活、精度高、稳定性和一致性好优点；而且可换性强，抗腐蚀和抗磨损能力卓越，从而使扩散硅压力传感器在生产工艺上和性能指标上了一个新台阶，产业化水平有了较大的提高，应用设计灵活性有了大大的提高。

申请人：昆山诺金传感技术有限公司,威海诺金传感技术有限公司,北京鑫诺金传感技术有限公司,北京鑫诺金电子科技发展有限公司,北京德思源电子科技发展有限公司

地址：215325 江苏省昆山市周庄镇高科技园区

国籍：CN

代理机构：南京纵横知识产权代理有限公司

代理人：董建林

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