一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法[发明专利]

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专利名称：一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备

方法

专利类型：发明专利

发明人：许程,蔡文哲,杨应田,李大伟申请号：CN2019100397.3申请日：20190716公开号：CN110330236A公开日：20191015

摘要：本发明公开了一种具有高激光损伤阈值的耐高温氧化铌薄膜制备方法，以卤化铌前驱体和复合添加剂滴加去离子水搅拌陈化制得含铌的胶体，采用提拉镀膜法或旋涂镀膜法在基底上镀膜，退火热处理获得氧化铌薄膜。本发明使用卤化铌前驱体代替常规的铌醇盐前驱体，减少了制备的氧化铌薄膜中的碳含量，在高温条件下减少了薄膜中碳的累积问题，有利于提高薄膜的光学性能与激光损伤阈值；复合添加剂中的螯合剂改善了成膜性能，使获得的薄膜表面均匀平整，内部缺陷少；耐高温添加剂则进一步增强了薄膜的耐高温特性。最终获得了具有在高温下拥有高激光损伤阈值的薄膜，解决了常规的溶胶凝胶氧化铌薄膜在高温下无法获得高激光损伤阈值的难题。

申请人：中国矿业大学

地址：221116 江苏省徐州市铜山区大学路1号

国籍：CN

代理机构：江苏圣典律师事务所

代理人：程化铭

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