ISO分级ISO 1级ISO 2级ISO 3级ISO 4级ISO 5级ISO 6级ISO 7级ISO 8级ISO 9级不小于表列粒径最高粒子浓度/（粒/m³）0.1μm1010010001000010000010000000.2μm22423723702370023700010102102010020102000435352352035200352000352000035200000883832832083200832000832000029293293029300293000M1.5M2.5M3.5M4.5M5.5M6.51101001000100001000000.3μm0.5μm1μm5μm对应传统分级SI英制 一般来说，要求最低的洁净室级别为ISO 8级，相当于传统100000级洁净室。此时，不小于5μm粒物计数不大于29300个/m³或0.0293个每cm³
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