专利名称：钽靶材制作方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,王学泽,周友平申请号：CN201110236553.3申请日：20110817公开号：CN102296272A公开日：20111228
摘要：一种钽靶材制作方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为钽或者钽合金；对所述金属料件依次进行塑性变形和热轧，制作成靶材。本发明可以得到内部组织结构均匀，不出现分层现象的钽靶材。
申请人：宁波江丰电子材料有限公司
地址：315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：骆苏华
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