专利名称：一种碲化镉薄膜制备方法及其使用的装置专利类型：发明专利发明人：刘志强,蒋猛
申请号：CN201210197215.8申请日：20120615公开号：CN103489957A公开日：20140101
摘要：一种碲化镉薄膜制备方法及其使用的装置，包括将单质碲加热气化后形成碲蒸汽、以及将单质镉加热气化后形成镉蒸汽；用携带气体分别运载所述碲蒸汽和所述镉蒸汽并将所述碲蒸汽和镉蒸汽混合均匀得到碲镉混合蒸汽；所述携带气体再将所述碲镉混合蒸汽携带至衬底。本发明以碲、镉单质作为原料，采用碲、镉单质独立蒸发源，通过气相分子混合方法制备碲化镉薄膜的方法。这样不仅降低了碲化镉太阳电池的生产成本，而且也把高纯碲化镉原料制备和碲化镉薄膜制备工艺有机的结合到了一起。
申请人：无锡尚德太阳能电力有限公司
地址：214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号
国籍：CN
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