专利名称：基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器专利类型：发明专利发明人：杨晓苹,史光远,马华申请号：CN201210472792.3申请日：20121120公开号：CN102914373A公开日：20130206
摘要：本发明涉及一种基于微柱透镜阵列的哈特曼波前传感器。该传感器包括光学匹配系统，第一微柱透镜阵列，第二微柱透镜阵列；还包括分光镜，第一光电探测器和第二光电探测器；光学匹配系统用于将入射光波扩束，使入射光波的尺寸匹配微柱透镜阵列的通光口径；第一和第二微柱透镜阵列将入射光波分割成多束子光波，并分别聚焦到位于其焦平面的光电探测器靶面上。将第一光电探测器采集的图像与第二光电探测器采集的图像进行正交融合叠加，形成连续的网格状聚焦线斑。本发明在保证测量精度的前提下克服了传统哈特曼波前传感器的测量动态范围小的缺点，可广泛应用于大像差波前的探测。
申请人：天津理工大学
地址：300384 天津市西青区宾水西道391号天津理工大学主校区
国籍：CN
代理机构：天津佳盟知识产权代理有限公司
代理人：侯力
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