您的当前位置：首页基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器[发明专利]

基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器[发明专利]

来源：筏尚旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前

传感器

专利类型：发明专利

发明人：王海英,蒋鹏,杨泽平,李恩德,张雨东申请号：CN200310100168.1申请日：20031015公开号：CN1607379A公开日：20050420

摘要：基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器，包括能接收并发出同步脉冲信号的数据采集设备、微棱镜阵列、傅立叶透镜和光电探测器，其特点在于：所述的微棱镜哈特曼波前传感器由变周期二维锯齿形相位光栅结构的微棱镜阵列、与其紧贴着的傅立叶透镜及光电探测器组成，其中的二维锯齿形相位光栅阵列的微棱镜阵列可有单面光刻中心对称的环形布局结构和两面光刻的双面光栅结构，既可采用微光学技术，也可采用二元光学技术加工。本发明结构简单、稳定，加工工艺易实现，相对于现有的微透镜技术，能够简化哈特曼波前传感器的安装、调节，实现批量化生产。

申请人：中国科学院光电技术研究所

地址：610209 四川省成都市双流350信箱

国籍：CN

代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文