一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器[发明专利]

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专利名称：一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器专利类型：发明专利

发明人：黄林海,饶学军,杨金生申请号：CN202011195579.3申请日：20201030公开号：CN112304443A公开日：20210202

摘要：本发明公开了一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器，包含有光束发散系统，微透镜阵列，光电探测器和两个平移装置。通过驱动两个平移装置使得设置在其上的微透镜阵列和光电探测器可沿光轴方向前后移动，从而改变分割波前的子孔径阵列数，并通过本发明提出的波前复原算法反演波前，从而实现空间分辨率可变的波前探测能力。本发明直接采用球面波进行标定，简化了光学结构，用微透镜阵列直接分割球面波前，提高了光能利用率，并且实现了采样率大范围连续可调，对输入探测对象特性变化较大的场合具有更好的波前探测适应能力。

申请人：中国科学院光电技术研究所

地址：610209 四川省成都市双流350信箱

国籍：CN

代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司

代理人：杨学明

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