基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的相位检测器[实用新型专利]

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专利名称：基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的相位检测器专利类型：实用新型专利发明人：廖小平,王文岩申请号：CN2013203214.X申请日：20130619公开号：CN203310916U公开日：20131127

摘要：本实用新型公开了一种基于微机械悬臂梁电容式功率传感器的相位检测器，第一CPW信号线和第二CPW信号线分别作为参考信号和反馈信号的输入端，经过一个二合一功合器连接到第三CPW信号线，第三CPW信号线上方的MEMS悬臂梁和传感电极在MEMS悬臂梁的锚区和传感电极的压焊块之间构成了MEMS悬臂梁电容式功率传感器，MEMS悬臂梁电容式功率传感器中的可变电容用于组成电容三点式压控振荡器，电容三点式压控振荡器的输出信号接入频率计的输入端，从而构成位检测器回路。本实用新型具有结构新颖、低功耗、高灵敏度以及易于集成的优点。

申请人：东南大学

地址：2111 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

国籍：CN

代理机构：南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)

代理人：杨晓玲

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