专利名称：一种真空气压调节装置专利类型：发明专利发明人：宣荣卫,吕俊
申请号：CN202010288255.8申请日：20200413公开号：CN111396610A公开日：20200710
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域。且公开了一种真空气压调节装置，包括外腔室，所述外腔室内部设置有内腔室，且所述内腔室与所述外腔室固定连接，所述内腔室底端设置有有限联通管，且所述有限联通管与所述内腔室固定连接。该一种真空气压调节装置，通过有限联通管，有限联通管为有底管状结构，和内腔室直接相连，底部部分镂空，镂空部分和外腔室相连，盖板为圆形薄板，可盖在有限联通管的镂空部分，且可以自由上下移动，盖板下落将有限联通管的镂空部分盖住，内外腔隔绝(或有微小泄漏)，盖板状态和内腔室和外腔室压差，有限联通管镂空面积及盖板重量有关，当压差较大时，推动盖板上升，压差较小时盖板下落，可以实现内外压差恒定，而不随腔室压力变化。
申请人：艾华(无锡)半导体科技有限公司
地址：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
国籍：CN
代理机构：连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：刘刚
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