真空镀膜用旋转掩膜装置[实用新型专利]

来源：筏尚旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：真空镀膜用旋转掩膜装置专利类型：实用新型专利发明人：高希存

申请号：CN200620097014.0申请日：20060530公开号：CN2915882Y公开日：20070627

摘要：一种真空镀膜用旋转掩膜装置包括基片架、掩膜板，基片架上开有放置所需镀膜基片用的基片槽，基片架套在转轴上，转轴的一端端部与掩膜板固接，掩膜板上设有定位孔和挡板，挡板可遮盖基片架上的基片槽，转轴上还套有固定钢柱，固定钢柱与基片架固定在一起，转轴与固定钢柱之间设有滚珠，使转轴可在固定钢柱内转动，固定钢柱上设轴向的通孔，通孔的位置与掩膜板上的定位孔相匹配，固定钢柱与掩膜板之间设有定位圆珠，定位圆珠卡在定位孔与固定钢柱的通孔间，通孔的另一端设置紧固螺栓，通孔内放置弹簧，紧固螺栓使通孔内的弹簧挤压定位圆珠。本实用新型的真空镀膜用旋转掩膜装置具有手感强、操作简便，不影响真空度及制造方便的特点。

申请人：南昌大学

地址：330047 江西省南昌市南京东路235号南昌大学理学院

国籍：CN

代理机构：江西省专利事务所

代理人：黄新平

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文