（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201720895100.4 （22）申请日 2017.07.21
（71）申请人 常州雷射激光设备有限公司
地址 213000 江苏省常州市新北区长江北路25号三晶工业园3号楼一层东
（10）申请公布号 CN207155049U
（43）申请公布日 2018.03.30
（72）发明人 张亚运
（74）专利代理机构 南京钟山专利代理有限公司
代理人 倪青华
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种激光设备中激光加工工位上的除尘装置
（57）摘要
本实用新型涉及一种激光设备中激光加工
工位上的除尘装置，包括扫描头组件、除尘固定支架、内防尘罩、外防尘罩、晶圆放置槽、内滑条和外滑条，所述除尘固定支架与晶圆放置槽可拆卸式固定连接，所述扫描头组件设置在除尘固定支架上端，所述晶圆放置槽上端面左右两侧均开设有滑槽，所述外防尘罩下端设置有内滑条，所述内防尘罩下端设置有外滑条，所述内防尘罩左端面下侧开设有吸尘口，所述内防尘罩与外防
尘罩上端面开设有激光通孔，该设计能够有效解决镜头经常被污染问题并且吸尘效果显著。
法律状态
法律状态公告日
2018-03-30 2018-03-30 2020-07-10
法律状态信息
授权 授权 专利权的终止
法律状态
授权 授权
专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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