专利名称:基于MEMS技术的盐度检测传感器专利类型:实用新型专利发明人:黄庆安,韩磊,殷刚毅申请号:CN201220193870.1申请日:20120503公开号:CN202631448U公开日:20121226
摘要:本实用新型提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器,微波信号源(102)连接到环形电桥(101)的第一端口(1),传感电极(104)连接到环形电桥(101)的第二端口(2),第一MEMS终端式微波功率传感器(1031)和第二MEMS终端式微波功率传感器(1032)分别连接到环形电桥(101)的第三端口(3)和第四端口(4)。本实用新型解决了盐溶液中电容效应对检测的各种不利影响,并具有高的可靠性、高的重复性、优异的性能、快的响应速度、小的体积、低的生产成本等特点。
申请人:东南大学
地址:214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99号东南大学无锡分校
国籍:CN
代理机构:南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人:柏尚春
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