光罩、TFT玻璃基板及其制造方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210395055.8 （22）申请日 2012.10.17

（71）申请人深圳市华星光电技术有限公司

地址 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1

（10）申请公布号 CN102929097A

（43）申请公布日 2013.02.13

第一层B区

（72）发明人林沛;郑华;吴良东;陈上潘;潘龙;高攀;林明文;陈世烽（74）专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人何青瓦

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

光罩、TFT玻璃基板及其制造方法

（57）摘要

本发明公开了一种光罩，用于TFT基板制

造的曝光步骤中部分地阻挡紫外线，包括面板图形形成区和附加图形形成区，面板图形形成区用于形成面板图形；附加图形形成区设于面板图形形成区边缘，用于在面板图形边缘形成附加图形。本发明还公开了一种TFT基板及其制造方法。本发明通过曝光步骤中在面板图形边缘增设附加图形，可保证面板图形边缘处的微结构特征

与面板图形中间处的微结构特征具有良好的均一性。

法律状态

法律状态公告日

2013-02-13 2013-03-20 2016-01-06

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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