*CN1011163A*
(10)申请公布号 CN 1011163 A(43)申请公布日 2010.11.24
(12)发明专利申请
(21)申请号 201010227283.5(22)申请日 2010.07.07
(71)申请人北京科技大学
地址100083 北京市海淀区学院路30号(72)发明人邵慧萍 盛艳伟 郭志猛 林涛
王述超(74)专利代理机构北京东方汇众知识产权代理
事务所(普通合伙) 11296
代理人刘淑芬(51)Int.Cl.
C01B 21/06(2006.01)
权利要求书 1 页 说明书 2 页
()发明名称
一种超细球形氮化铁粉末的制备方法(57)摘要
本发明提供一种超细球形氮化铁粉末的制备方法,属于粉末制备技术领域。本发明所述的方法以羰基铁液体为原料,氨气(或氮气)等离子体为氮化反应气氛、射频(RF)等离子体为反应的热源,合成制备超细球形氮化铁粉末。其工艺步骤是首先将羰基铁液体蒸发,载气将液体蒸气送入氮等离子体中,羰基铁蒸气分解后与氮等离子体反生成超细球形氮化铁粉末。其特征在于:以射应,
频(RF)等离子体为热源,使羰基铁液体蒸气的氮化与球化处理一步完成,制备出超细球形氮化铁粉末。此方法生成的球形氮化铁粉末粒度细小均匀、球形度好、球化率高,且工艺简单,用其制备的磁流体具有较高的饱和磁化强度。CN 1011163 ACN 1011163 ACN 10111 A
权 利 要 求 书
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1.一种超细球形氮化铁粉末的制备方法,其特征包括以下步骤:
(1)以氩气为保护气充满整个反应装置,避免粉末合成过程中的氧化问题;(2)建立稳定运行的射频等离子体;(3)将羰基铁液体蒸发,以氨气或氮气为载气将液体蒸汽送入等离子体高温区:(4)氨气或氮气被电离,形成氮的等离子体,同时,Fe(CO)5也在氩等离子激发影响下分解,产生了铁离子,铁离子与氮离子相互结合,生成氮化铁;所述射频等离子体主要工艺参数为:功率30~80KW,氩气工作气流量20~35slpm,氩气保护气流量20~90slpm,系统负压200~300mm汞柱。
2.根据权利要求1所述的超细球形氮化铁粉末的制备方法,其特征在于,所述羰基铁液体蒸汽的流量2~15slpm,氨气或氮气的流量35~80slpm。
3.根据权利要求1所述的超细球形氮化铁粉末的制备方法,其特征在于,所述的微细球形氮化铁粉末粒度为10~200nm。
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说 明 书
一种超细球形氮化铁粉末的制备方法
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技术领域
[0001]
本发明属于粉末制备技术领域,特别是提供了一种超细球形氮化铁粉末的制备方
法。技术背景
氮化铁(FexN)磁粉是一种新型强磁材料,在电子工业、化学工业和国防高科技研究领域中具有特殊的、多方面的应用价值。与目前普遍采用的磁记录材料γ-Fe2O3相比,氮化铁磁粉具有记录密度高、信噪比大、耐腐蚀性和耐氧化性好等特点,故氮化铁磁粉的研制已得到广泛的研究。
[0003] 检索国内外文献结果表明,当前氮化铁磁粉的制备方法主要包括α-FeOOH还原氮化法、Fe(CO)5氮化法、卤铁盐及铁氧化物还原氮化法和α-Fe高能球磨氮化法等。α-FeOOH还原氮化法可以制备轴比较高的各向异性磁粉,适于高密度磁记录磁粉的制备;卤铁盐及铁氧化物还原氮化法制备的氮化铁物相较纯,杂质含量较低。α-Fe高能球磨氮化法是制备Fe16N2磁粉一种有效的方法。中国专利CN1117020A公开了一种激光气相合成氮化铁超细粉的方法。该方法以Fe(CO)5为铁源,以NH3为反应气通过加热的铁源,进入连续二氧化碳激光气相反应室,二氧化碳激光源诱发NH3和Fe(CO)5的气相热分解反应,在Ar或N2气氛下一步合成氮化铁超细粉。
[0004] 上述方法普遍存在制备条件严格、工艺复杂、工艺流程冗长等问题,从而造成氮化铁超微粉制造成本较高,且制备出的粉末球形度都不高,这使得磁粉在形成磁流体或者磁流变液时稳定性差,影响氮化铁粉体的开发与应用。
[0002]
发明内容
[0005] 本发明的目的是提供一种超微细球形氮化铁粉末的制备方法,制备出的超细球形氮化铁粉末粒度细小均匀、纯度高、球形度好、球化率高、且工艺流程短,用其制备的磁流体具有较高的饱和磁化强度。
[0006] 一种超细球形氮化铁粉末的制备方法,包括以下步骤:[0007] (1)建立稳定运行的氩气射频(RF)等离子体炬,其主要工艺参数为:功率30~80KW,氩气工作气流量20~35slpm,氩气保护气流量20~90slpm,系统负压200~300mm汞柱;
[0008] (2)将羰基铁液体置于恒温槽内的蒸发皿中,使之蒸发比控制蒸发温度为30~80℃,以氨气(或氮气)为载气将液体蒸气送入射频等离子体高温区。其中羰基铁液体蒸气的流量2~15slpm,氨气(或氮气)的流量35~80slpm。
[0009] (3)上述羰基铁液体蒸气在射频等离子体中迅速吸热分解、电离,产生的活性铁原子与离子态的氮发生化合反应,生成超细球形氮化铁粉末。
[0010] 所述制备出的超细球形氮化铁粉末的粒度为10~200nm。[0011] 本发明以羰基铁液体为原料,将羰基铁液体蒸发,用载气(氨气或氮气)将液体蒸
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说 明 书
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汽送入射频等离子体中,氨气(或氮气)就被电离,形成氮的等离子体,同时,Fe(CO)5也在氩等离子激发影响下分解,产生了铁离子,铁离子与氮离子相互结合,生成氮化铁。以射频(RF)等离子体为热源,使羰基铁蒸汽的分解、氮化合成、球化过程一步完成,缩短工艺流程,制备出超细球形氮化铁粉末。
[0012] 在射频等离子体中的气相分解与合成反应方程式为:
[0013] [0014]
Fe+[N]→FexN (3)
[0016] 本发明的优点在于:
[0017] (1)以羰基铁液体为原料,氮等离子体态为氮化合成环境,利于氮化铁合成反应充分进行。
[0018] (2)采用射频(RF)等离子体为热源,氩气为等离子工作气,减少氮化铁粉末合成过程的氧化问题。
[0019] (3)制备出的氮化铁粉末粒度细小均匀、球形度好、球化率高,且工艺简单,用其制备的磁流体具有较高的饱和磁化强度。
[0015]
具体实施方式[0020] 实例1:制备平均粒径为150nm的超细球形氮化铁粉末[0021] 以羰基铁液体和氨气为原料,稳定运行的射频(RF)等离子体功率为60KW,氩气工作气流量为45slpm,氩气保护气的流量为150slpm,系统负压为220mm汞柱。将流量为5slpm的羰基铁液体蒸气与流量为30slpm的氨气送入高温等离子体中,羰基铁液体蒸气分解与氮离子氮化合成氮化铁粉末,收集得到平均粒径为150nm的超细球形氮化铁粉末。[0022] 实例2:制备平均粒径为50nm的超细球形氮化铁粉末[0023] 以羰基铁液体和氨气为原料,稳定运行的射频(RF)等离子体功率为55KW,氩气工作气流量为30slpm,氩气保护气的流量为150slpm,系统负压为200mm汞柱。将流量为3slpm的羰基铁液体蒸气与流量为40slpm的氨气送入高温等离子体中,羰基铁液体蒸气分解与氮离子氮化合成氮化铁粉末,收集得到平均粒径为50nm的超细球形氮化铁粉末。
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