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一种MEMS全向振动传感器

来源：筏尚旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410673491.6 （22）申请日 2014.11.21

（71）申请人广西智通节能环保科技有限公司

地址 5001 广西壮族自治区柳州市桂中大道阳光100城市广场2-20-9室

（10）申请公布号 CN104391320A

（43）申请公布日 2015.03.04

（72）发明人黄能;蔡桂钧

（74）专利代理机构广州三环专利代理有限公司

代理人温旭

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种MEMS全向振动传感器

（57）摘要

本发明公开了一种MEMS全向振动传感

器，包括传感器壳体、印刷电路板、MEMS级三轴电容式加速度计、MEMS级三轴磁阻传感器和三维加速度传感器，所述传感器壳体是球形的，且由灌封材料组成，所述MEMS级三轴电容式加速度计安装于传感器壳体的重心位置处，用于三维全向测振，所述MEMS级三轴电容式加速度计、MEMS级三轴磁阻传感器和三维加速度传感器安装于印刷电路板上；采用灌封和制模工艺，将所述印刷

电路板直接浇铸在传感器壳体的重心平面内。本发明的传感器壳体与土壤粒子同步震动，所述印刷电路板和灌封材料的选择保证了传感器壳内密度均匀、各向同性，实现了爆破震动信号的全向接收。

法律状态

法律状态公告日

2015-03-04 2015-04-01 2017-06-30

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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