专利名称：衬底处理装置专利类型：发明专利
发明人：柳次英,诸成泰,崔圭鎭,金濬,郑奉周,朴庆锡,金龙基,
金哉佑
申请号：CN201680061569.6申请日：20160905公开号：CN108352294A公开日：20180731
摘要：本发明包含：限定内部空间的套管组合件，在所述内部空间中处理衬底且堆叠及组装各自具有喷射部分及排气口的多个堆叠主体；衬底固持器，其用于以多级方式将多个衬底支撑在所述内部空间中；供应管线，其连接到所述多个堆叠主体中的任一个的所述喷射部分以便供应处理气体；以及排气管线，其连接到所述多个排气口的任一个以便排放所述处理气体。本发明诱导所述处理气体的层流并可均一地供应所述处理气体到所述衬底的上表面。
申请人：株式会社EUGENE科技
地址：韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42(邮编17156)
国籍：KR
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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