单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201420326967.4 （22）申请日 2014.06.18

（71）申请人 西安隆基硅材料股份有限公司

地址 710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

（10）申请公布号 CN203923460U

（43）申请公布日 2014.11.05

（72）发明人 马少林;李侨;周锐;毛静;李定武 （74）专利代理机构 西安弘理专利事务所

代理人 罗笛

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉

（57）摘要

本实用新型公开的单晶炉热场，包括位于

坩埚上方的热屏以及独立于热屏、同轴设置于热屏内侧的热屏冷却件，热屏冷却件可相对于坩埚升降。本实用新型还公开具有该单晶炉热场的单晶炉，包括单晶炉壳体、坩埚和上述的单晶炉热场，坩埚和单晶炉热场均容置于单晶炉壳体内。本实用新型的单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉中的热屏冷却件，可吸收单晶生长时释放的结晶潜热、有效地提高单晶生长速度，一旦发

生损坏，也便于维修，并且，该热屏冷却件可相对于坩埚升降，在加料时升起该热屏冷却件，可避免溅硅，确保拉晶过程的安全与稳定。

法律状态

法律状态公告日

2014-11-05 2014-11-05 2014-11-05 2017-08-08 2017-08-08 2020-01-17

法律状态信息

授权 授权 授权

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专利申请权、专利权的转移

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权利要求说明书

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说明书

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