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RV5真空泵使用手册.

来源：筏尚旅游网

RV3、 RV5、 RV8 以及 RV12 旋转式叶片泵 A 65X-YY-ZZZ 泵类型变体马达说明 X YY ZZZ

2 = RV301 至 99903 = 220-240V, 50/60Hz,单相 3 = RV5904 = 100/200V, 50/60Hz,单相 4 = RV8905 = 200-230/380-460V, 50/60Hz,三相

5 = RV12906 = 110-115/120V, 50/60Hz,单相 965 = NEMA 光轴 970 = ISO

光轴

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。目录

A652–01–846 S期目录章节页

简介 .................................................................................................1 1.1范围和定

义 ................................................................................................................11.2ATEX 规定的含义 .........................................................................................................21.3说明 ........................................................................................................................41.4性能模式和控制 ..........................................................................................................41.4.1模式选择旋钮 .............................................................................................................41.4.2气体 -稳定控制器 .........................................................................................................51.5

结构 ........................................................................................................................5 2

技术数据 ...........................................................................................7 2.1工作与存储条

件 ..........................................................................................................72.2性

能 ........................................................................................................................72.2.1一般 ........................................................................................................................72.2.2性能参数 ..................................................................................................................112.3机械数据 ..................................................................................................................122.4噪音和振动数据 .........................................................................................................122.5润滑数据 ..................................................................................................................122.6电气数据: 单相泵 ......................................................................................................142.7

电气数据: 三相

泵 ......................................................................................................15

安装 ...............................................................................................17 3.1 安

全 .......................................................................................................................173.2系统设计注意事项 .......................................................................................................173.3打开和检查包装箱 .......................................................................................................183.4确定泵的位置 ............................................................................................................183.5向泵中填注油 ............................................................................................................183.6安装马达 (如果是光轴

泵 ............................................................................................193.7电气安装: 单相泵 ......................................................................................................193.7.1检查并配置马达 .........................................................................................................193.7.2将泵连接到电源系统 ....................................................................................................193.7.3检查旋转方向 ............................................................................................................203.8电气安装: 三相泵 ......................................................................................................223.8.1检查并配置马达 .........................................................................................................223.8.2将泵连接到电源系

统 ....................................................................................................223.8.3检查旋转方向 ............................................................................................................243.9入口和出口连接 .........................................................................................................243.10

对系统进行泄漏测

试 ....................................................................................................25

操作 ...............................................................................................27

4.1ATEX 规定的含

义 ........................................................................................................274.1.1简介 .......................................................................................................................274.1.2易燃 /易着火材料 .......................................................................................................274.1.3气体清洗 ..................................................................................................................284.2如何使用泵控制

器 .......................................................................................................284.2.1简介 .......................................................................................................................284.2.2模式选择旋钮 ............................................................................................................294.2.3气体稳定控制器 .........................................................................................................294.3启动过程 ..................................................................................................................304.4

获取极限真

空 ............................................................................................................30

F a l c o n 04033 05/2009 A652–01–846 S期页码 ii

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4.5抽取可冷凝蒸

汽 .........................................................................................................314.6净化油品 ..................................................................................................................314.7自动化运转 ...............................................................................................................314.8关闭 .......................................................................................................................32

维护 ...............................................................................................33 5.1安全信

息 ..................................................................................................................335.2维护计划 ..................................................................................................................345.3检查油位 ..................................................................................................................345.4更换油 ....................................................................................................................355.5检查和清洁入口 -过滤器 ................................................................................................355.6检查和清洁气体 -稳定控制

器 ..........................................................................................365.7清洁油位目视镜 .........................................................................................................375.8清洁马达风扇盖子 -和外罩 ............................................................................................385.9清洁和对泵做彻底检查 .................................................................................................385.10更换新叶片 ...............................................................................................................385.11测试马达状况 ............................................................................................................385.12故障 -检测 ................................................................................................................385.12.1简介 .......................................................................................................................385.12.2泵无法启

动 ...............................................................................................................385.12.3泵无法获得指定的性能,即无法达到极限真

空 ......................................................................395.12.4泵的噪音很

大 ............................................................................................................395.12.5泵的表面温度超过 100°C ..............................................................................................395.12.6泵关闭后,无法保持完全的真

空 ......................................................................................395.12.7抽取速度太低 ............................................................................................................405.12.8

存在外部油泄

漏 .........................................................................................................40

存储和废弃 .......................................................................................41 6.1存

储 .......................................................................................................................416.2

废弃 .......................................................................................................................41 7

服务和备件 .......................................................................................43 7.1简

介 .......................................................................................................................437.2维修 .......................................................................................................................437.3备件 .......................................................................................................................437.4附件 .......................................................................................................................457.4.1简介 .......................................................................................................................457.4.2入口承接罐 ...............................................................................................................457.4.3入口灰尘过滤

器 .........................................................................................................457.4.4入口干燥剂容器 .........................................................................................................457.4.5入口化学品容器 .........................................................................................................467.4.6前级真空管线容器 .......................................................................................................467.4.7出口油汽过滤器 .........................................................................................................467.4.8气体稳定适配

器 .........................................................................................................467.4.9重力排油工具套件 .......................................................................................................467.4.10排油口

-延伸附件 ........................................................................................................467.4.11排气喷嘴工具套

件 .......................................................................................................467.4.12隔振器 ....................................................................................................................467.4.13螺线管操作的气体稳定

阀 ..............................................................................................467.4.14

螺线管操作的管道

阀 ....................................................................................................46

特制全氟聚醚 (PFPE -RV 泵 ................................................................49 8.1总

结 .......................................................................................................................498.2安装 .......................................................................................................................498.3

操作 .......................................................................................................................49 © Edwards Limited 2007。保留所有权利。页码 iii Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。目录

A652–01–846 S期 8.4维

护 .......................................................................................................................49

9光轴 RV泵 .......................................................................................51 9.1说明 .......................................................................................................................51 9.2将马达安装到光轴泵上 .................................................................................................51

如需返还设备,请完成本手册最后的 HS 表。

图例

图页 1旋转式叶片泵 (RV

pump .............................................................................................3 2高真空模式下的性能特性 (抽取速度和入口压力对比 ...........................................................11 3尺寸 (mm ................................................................................................................13 4马达电压配置单相泵 ...................................................................................................21 5三相电路连接: 200-230V .............................................................................................23 6三相电路连接: 380-460V .............................................................................................23 7入口 -过滤器装置 ........................................................................................................35 8气体稳定控制器装置 ....................................................................................................36 9目视镜装置 ...............................................................................................................37 10附件 .......................................................................................................................47 11将马达安装到光轴泵上 .................................................................................................52

A652–01–846 S期目录表

表页 1工作与存储条

件 ..........................................................................................................7 2一般性能数据 .............................................................................................................7 3性能数据:高真空模式 ..................................................................................................8 4性能数据:高处理能力模式 .............................................................................................9 5性能参数 ..................................................................................................................10 6机械数据 ..................................................................................................................12 7噪音和振动数据 .........................................................................................................12 8润滑数据 ..................................................................................................................12 9电气数据 (单相泵,项目编号 -903 或 -906 ......................................................................14 10电气数据 (单相泵,项目编号 -904 ................................................................................14 11电

气数据 (三相泵,项目编号 -905 ................................................................................15 12维护计划 ..................................................................................................................34 13备件和维护套件 .........................................................................................................44 14附件项目编号 ............................................................................................................45相关出版物

出版物标题出版物编号真空泵和真空系统安全 P300–20–000商标 Fomblin ®是 Ausimont SpA的商标。

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A652-01-846 S期 1 简介 1.1 范围和定义

本手册为 Edwards RV3、 RV5、 RV8 和 RV12 系列旋转式叶片泵提供专门的安装、使用和维护指南。您必须按本手册所述使用泵。

请在安装和操作泵之前阅读本手册。 “警告”和 “小心”说明是强调指出的重要安全信息;您必须遵守这些说明。下面定义了 “警告”和 “小心”的用法。

注意

在不遵守说明会导致本设备、关联设备和工艺损坏的地方将提示小心。本手册中使用的单位符合 SI 国际测量单位系统。

为了遵守 IEC1010 所推荐的标准,泵上会标示如下警告标牌: 警告

在不遵守说明会导致人员伤亡的地方给出警告。

警告

— 参见附带的文档。警告

—

有触电危险。警告 — 高温表面。 A652-01-846 S期

页 2

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1.2ATEX 规定的含义 z

本设备设计符合第二大组第三小类 (GroupII Category3 设备的要求,遵守欧洲议会和 1994 年 3 月 23 日委员会所制定的有关欧盟各成员国近似法律的 94/9/EC 规定。本规定主要讨论的是在潜在的爆炸环境下所使用的装备和保护系统。 (即 ATEX 爆炸环境规定。

ATEX 第三小类 (Category 3有关设备内部潜在的着火源。 ATEX 类别未被指定对设备之外潜在的着火源负责,同样,设备未被设计为适用于外部的潜在爆炸环境中。

在正常操作情况下,泵内部不应该有潜在的着火点出现,但是,在某些可预计的情况下或本规定中定义的几个极少故障情况下,依然可能存在潜在的着火点。因此,虽

然本泵设计为可以抽取易燃的材料和混合物,在操作过程中, 依然应该确保处于正常和合理的可预计环境中,这些易燃的材料和混合物应该处于爆炸的限定条件之内。第三小类 (Category 3被认为适合于在少数几个故障的情况时可免于着火,在这种情况下,允许易燃材料和混合物可以通过泵,而限定在爆炸的限度之内。

当设备内有易燃或易产生火花的材料时,您必须确保: z不得允许空气进入到设备中。 z 确保系统密封紧固。 z

有关更详细的信息,敬请按如下方式联络 Edwards 公司: 参见本手册后面的联系地址页,获取与您最近的 Edwards

公司的详细信息。

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A652-01-846 S期

图 1 - 旋转式叶片泵 (RV pump

1. 电气入口接头 2. 电压指示器 3. 提拉手柄 * 4. NW25 入口端子 5. 气体稳定控制器 6. 油填注塞

7. NW25 出口端子 8. 油位目视镜 9. 排放塞

10. 橡胶底脚 (x4 11. 模式选择旋钮 12. 开关按钮 † 13. 马达风扇盖 14. 正确的旋转方向

只适用于 RV3 和 RV5 泵。 RV8 和 RV12 泵则安装有提升托架。只适用于单相泵。

注意:所示为单相 - RV3/RV5

泵。

A652-01-846 S期简介 1.3说明

†

Edwards 公司 RV 系列旋转叶片泵如图 1所示。参见图 1以查看以下说明中提及的项目编号 (圆圈中。 RV 泵属于两级泵,是一种不漏油的滑片真空泵。本泵具有 NW25 入口端子 (4 和出口 (7 端子,并具备一个气体稳定控制器 (5 和一个模式选择旋钮 (11。当泵关闭后,入口阀将入口密封起来,防止将空气和油往回吸入到真空系统中。

RV3 和 RV5 泵还具有一个可伸缩进去的提拉手柄 (3。而 RV8 和 RV12 系列泵,则配备有一个提拉支架,用于和适当的提升设备配合使用。

油泵将带有压力的油送入 RV 泵的真空抽取机构中。您可以通过油箱外面的油位目视镜 (8,随时观察油面水平和油的状况。油箱上有两个填注塞 (6 和一个排放塞 (9。

本泵直接由一个单相或三相马达驱动,通过一个有弹性的马达联结器来传动。马达完全封闭起来,通过马达风扇来散热,风扇将空气直接鼓动进马达的散热片中,起到散热作用。这些泵另外还有一套附加在马达联结器尾端的风扇可用来散热。

单相马达还装配有一个开关按钮 (12 以及一个热过载设备。当马达过热时,热过载设备会自动将泵关闭,起到保护作用。热过载设备有一个自动复位开关,当马达冷却下来后,这个设备会自动重新复位, (如果您安装了其他需要手动复位的控制设备则不会自动复位:请参见 3.7.2 和 3.8.2 节 ,马达紧接着也会重新启动。

泵被固定在一块平板上,下面有四个橡胶底脚 (10。有关合适的隔振器和其他附件的详细消息,请参见章节 7.4。如果您的泵是特制的全氟聚醚 (Perfluorinated Polyether,即特制 PFPE-泵 ,请参见章节 8,获取更多信息。

1.4性能模式和控制

本泵具有两个控制装置:模式选择旋钮 (11 和气体稳定控制器 (5。这些控制装置具有六种可能的组合,能允许一个较宽范围的操作选择,这样您就可以根据不同的应用情况,优化泵的性能。

1.4.1模式选择旋钮

模式选择旋钮具有两个档位,请参见章节 4.2查看这些档位的情况。在本操作手册中,我们有如下表述方面的约定: z高真空模式,由 6符号代表。

z高处理能力模式,由 6符号代表。

当模式选择旋钮设置为 “高真空”模式 6时,充满压力的油只会被注入到低真空级。在这个模式下,泵提供的是最接近临界点的真空。

当模式选择旋钮设置为 “高处理能力”模式 6时,充满压力的油会同时注入到高真空级和低真空级。在该模式下,泵可以维持长时间的高入口压力。

A652-01-846 S期 1.4.2气体 -稳定控制器

为了抽取更大的蒸汽负载,在泵上引入了气体 -稳定控制器,用于防止抽取气体所携带的蒸汽凝结在一起。

空气则可以通过气体 -稳定控制阀,被引入更低的真空级别中。作为一个替代方案,类似于氮气这样的入口气体可以通过一个适当的外部阀门来提供。

气体 -稳定控制器具有三档位置: z关闭 (位置 ‘0’ z低流速 (位置 ‘I’

z高流速 (位置 ‘II’ 1.5结构

本泵转轴和马达由高等级的铸铁构成。泵身和油箱由铸铝制成。暴露在抽取气体之中的所有泵表面,都不使用铜、锌和镉等材料。

其他构造材料还包括氟烃弹性体、腈纶、硅,以及其他化学性稳定的高分子材料以及镍材料和不锈钢材料。

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Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。技术数据 A652-01-846 S期 2 技术数据

注意:为了满足加拿大标准协会 (CSA 的标准,本泵必须在室内安装和使用,满足下面的表 1 中指定的运行条件。

2.1

工作与存储条件

2.2 性能 2.2.1 一般

注意:在 2 和 3 中,总压力由电容薄膜式真空计在不带冷捕集器的真空腔 (参见 Pneurop 标准 6602 (1979 的规

定中测得。

表 1 - 工作与存储条件

环境温度范围 (操作条件下 12 到 40°C环境温度范围 (存储条件下 –30到 70°C泵身的一般表面温度

*50 到 70°C

最大湿度 (操作条件下 90%相对湿度 (RH 最大海拔高度 (操作条件下 2000 米 (m 污染程度 2安装类别

* 在极限真空环境下,环境温度为 20°C。表 2 - 一般性能数据

高真空模式 6 性能参见表 3高处理能力模式 6 性能参见表 4 回吸保护

1x 10-5mbar l s-1, 1x 10-3Pa l s-1

没有气体 -稳定装置气流所引发的最大初始压力 1x 10-1mbar , 10Pa RV3 RV5RV8RV12最大排量:m 3 h-1 50Hz 电源 60Hz 电源 3.74.5 5.85.0 9.711.7 14.217.0 最大抽取速度

(Pneurop6602, 1979: m3 h-1 50Hz 电源 60Hz 电源 3.33.9 5.16.2 8.510.0 12.014.2

允许的最大入口压力和气体 -稳定器入口压力压力计 0.50.50.50.5Pa 1.5x 105

1.5x 105 1.5x 105 1.5x 105

允许的最大出口压力压力计 1111Pa 2x 105 2x 105 2x 105 2x 105

A652-01-846 S期

表 3 - 性能数据 : 高真空模式高真空模式 6 参数单位 R V 3

R V 5R V 8R V 12

1相 3相 1相 3相 1相 3相 1相 3相

气体 -稳定控制器关闭 (位置 ‘ 0’ 总的最大压力 m b a r

2x 10-32x 10-32x 10-32x 10-3 P a

2x 10-12x 10-12x 10-12x 10-1

气体 -稳定控制器低流速 (位置 ‘ I ’ 总的最大压力 m b a r

3x 10-23x 10-23x 10-2 3x 10-2 P a 3333

气体 -稳定控制器流速 l m i n -15 5 5 5

最大水汽抽取率

k g h -1 0. 06

0. 040. 060. 040. 060. 04 0. 06 0. 04

最大水汽入口压力 m b a r 27 18161110 7 7 5 P a

2. 7x 1031. 8x 1031. 6x 1031. 1x 1031x 103 7x 102 7x 102 5x 102

气体 -稳定控制器高流速 (位置 ‘ I I ’ 总的最大压力

m b a r

1. 2x 10-11x 10-1 6x 10-2 6x 10-2 P a 1. 2x 101 1x 1016 6

气体 -稳定控制器流速 l m i n -114 14 16 16

最大水汽抽取率 k g h -1 0. 22 0. 120. 22 0. 12 0. 22

0. 20 0. 29 0. 25

最大水汽入口压力 m b a r 80 5450 32 38 34 32 28 P a

8x 1035. 4x 1035x 103 3. 2x 103 3. 8x 103 3. 4x 103 3. 2x 103 2. 8x 103

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表 4 - 性能数据 : 高处理能力模式高处理能力模式 6 参数单位 R V 3

R V 5R V 8R V 12

1相 3相 1相 3相 1相 3相 1相 3相气体稳定控制器关闭 (位置 ‘ 0’ 总的最大压力 m b a r

3x 10-23x 10-23x 10-23x 10-2 P a 3333

气体稳定控制器低流速 (位置 ‘ I ’ 总的最大压力

m b a r

6x 10-26x 10-24x 10-2 4x 10-2 P a 6644

气体稳定控制器流速 l m i n -15 5 5 5

最大水汽抽取率 k g h -1 0. 06

0. 040. 060. 040. 060. 04 0. 06 0. 04

最大水汽入口压力 m b a r 27

18161110 7 7 5 P a

2. 7x 1031. 8x 1031. 6x 1031. 1x 1031x 103 7x 102 7x 102 5x 102

气体稳定控制器高流速 (位置 ‘ I I ’ 总的最大压力 m b a r

1. 2x 10-11x 10-1 6x 10-2 6x 10-2 P a 1. 2x 101 1x 1016 6

气体稳定控制器流速 l m i n -114 14 16 16

最大水汽抽取率 k g h -1 0. 22 0. 120. 22 0. 12 0. 22 0. 20 0. 29 0. 25

最大水汽入口压力 m b a r 80 5450 32

38 34 32 28 P a

8x 1035. 4x 1035x 103 3. 2x 103 3. 8x 103 3. 4x 103 3. 2x 103 2. 8x 103 A652-01-846 S期

气体稳定控制器 (G A S B A L L A S T C O N T R O L 关闭 (位置 ‘ 0’

低流速 (位置 ‘ I ’ 高流速 (位置 ‘ I I ’

高真空模式 6总的最大压力总的最大压力总的最大压力 m b a r P a

m b a r P a m b a r P a 2x 10-3

2x 10-13x 10-231. 2x 10-1 (R V 3 1. 0x 10-1 (R V 5 6x 10-2 (R V 8/12 1. 2x 101 (R V 3 1. 0x 101 (R V 5 6. 0(R V 8/12 适用于最佳极限压力最大水汽抽取率最大水汽抽取率 1-相泵 3-相泵 1-相泵 3-相泵 0. 06k g h -1

0. 04k g h -10. 22k g h -1 (R V 3/5/8 0. 29k g h -1 (R V 12 0. 12k g h -1 (R V 3/5 0. 20k g h -1 (R V 8 0. 25k g h -1 (R V 12

高处理能力模式 6 总的最大压力总的最大压力总的最大压力 m b a r P a m b a r P a m b a r P a 3x 10-2

36x 10-2 (R V 3/5 4x 10-2 (R V 8/12

6 (R V 3/5 4 (R V 8/12 1. 2x 10-1 (R V 3 1. 0x 10-1 (R V 5 6x 10-2 (R V 8/12 1. 2x 101 (R V 3 1. 0x 101 (R V 5 6. 0(R V 8/12 用于持续入口压力 , 超过 50m b a r /5x 103P a 最大水汽抽取率最大水汽抽取率 1-相泵 3-相泵

1-相泵 3-相泵 0. 06k g h -1

0. 04k g h -10. 22k g h -1 (R V 3/5/8 0. 29k g h -1 (R V 12 0. 12k g h -1 (R V 3/5 0. 20k g h -1 (R V 8 0. 25k g h -1 (R V 12

A652-01-846 S期 2.2.2性能参数

注意:下述性能特性针对使用碳氢化合物油的情形。

模式选择旋钮以及气体稳定控制器的位置决定了泵的性能特性。完整的性能特性列在表 3和 4中。

表 5给出了六个控制位置的可能组合中每一个的极限真空压力和最大水汽入口压力。图 2中的曲线 0、曲线 I 以及曲线 II 显示了高真空模式 6下入口压力和抽取速度之间的关系。

图 2 - 高真空模式下的性能特性

(抽取速度和入口压力对比 A652-01-846 S期页 12

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。技术数据 2.3 机械数据 2.4

噪音和振动数据 2.5润滑数据

注意:您可以索取有关旋转式泵用油的 Edwards 材料安全数据表。表 6 - 机械数据尺寸

参见图 3保护程度 (IEC34-5: 1981 单相泵三相泵 IP44IP54最大倾斜角度 100 马达转速

50Hz 电源 60Hz 电源 1470r min-11760r min-1最大重量

RV3RV5RV8RV12带马达的泵,不带油 21.6kg 21.5kg 26.0kg 26.3kg 光轴泵 14.0kg 14.0kg 16.5kg 17.5kg

表 7 - 噪音和振动数据声压 *

单相泵三相泵 48dB (A50dB (A振动强度 † 单相泵三相泵级别 1C级别 1C *

极限真空条件下测量数据,距离泵的尾端 1米远,根据 ISO11201 标准,高真空模式 6 条件测量。 50Hz 运转条件下。

†

在入口端子上测试,符合 ISO2372 (1974 的要求表 8 - 润滑数据推荐的油 * 特制碳氢化合物泵

特制全氟聚醚 (PFPE 泵 Edwards Ultragrade19 Krytox 1506 或 Fomblin06/6油量 RV3 RV5 RV8

RV12最大 0.70升 (L 0.70升 (L 0.75升 (L 1.00升 (L 最小 0.42升 (L 0.42升 (L 0.45升 (L 0.65升 (L *

要在环境温度超过章节 2.1 中指定的限制时操作泵,或者要优化泵在抽取可冷凝蒸汽时的性能,则可能需要使用其他油。

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。技术数据 A652-01-846 S期图 3 - 尺寸 (mm

1. 开关 -按钮 (仅用于 -单相泵

2. 提升支架 (RV3 和 RV5 泵上未安装: 对于这两种泵,安装的是提拉手柄

A. 单相泵顶视图 B. 单相泵侧视图 C. 三相泵侧视图 D. 单相泵正视图 E. 光轴泵侧视图

泵 A *A

†

B C D E F G H I J K RV343042915822512729782301203732-RV543042915822512729782301203732-RV847042915822516135782301203732261RV12439

429 158 225 181 35 78

230 120 37 32 261 * 单相泵 † 三相泵。 A652-01-846 S期页 14

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。技术数据

2.6电气数据: 单相泵

注意:我们推荐使用表 9 和 10 中指定的最大规格的保险丝。不需使用更高级别的保险丝。

双压双频马达主要设计用于单相电源,很适合于 50Hz 或 60Hz 条件下运行。马达可以手动调节为介于标称电压为

110-120V 和 220-240V 之间 (请参见章节 3.7.1 。在启动冷泵时,马达在几秒钟内会引发很大的启动电流,如下表 9 和 10 所示。因此,必须使用缓动式保险丝,以保

证在启动泵时不会烧掉保险丝。五分钟左右,当泵中的油热了以后,实际电流将慢慢下降到表 9 和 10 中指定的满负载电流。

注意:所选择的保险丝类型必须满足时间延迟类型 CC 或类型 M,如果在英国,必须为 BS88。

表 9 - 电气数据 (单相泵,项目编号 -903 或 -906 泵标称电压 (V频率 (Hz功率 (W满负载电流

启动电流 (A最大保险丝等级 (A

RV3 和 RV5

220-240502502.415.65230-240603002.215.25110502504.629.410115-120 603004.431.510RV8 和 RV12

220-240504504.018.05230-240605503.618.05110504507.834.013115-120 60 550 7.2 34.0 13

表 10 - 电气数据 (单相泵,项目编号 -904 泵标称电压 (V频率 (Hz功率 (W满负载电流

启动电流 (A最大保险丝等级 (A

RV3 和 RV5

200502502.819.45200-210603002.419.55100502505.437.010100-105 603004.639.010RV8 和 RV12

200504503.921.05200-210605503.820.65100504507.640.013100-105 60 550 7.6 41.5 13

A652-01-846 S期 2.7电气数据:三相泵

双压双频马达主要设计用于三相电源,很适合于 50Hz 或 60Hz 条件下运行。马达可以手动调节为介于标称电压为 220-240 V 和 380-460 V 之间 (请参见章节 3.8.1 。这些泵预设为使用 380-460 V 的电源。

在启动冷泵时, 马达将会产生一个持续 0.5 秒的启动电流, 如表 11所示。当马达达到额定的转速后, 这个启动电流将很快降低。五分钟左右,当泵中的油热了以后,实际电流将慢慢下降到表 11中指定的满负载电流。

在启动热泵时,马达将会产生一个持续 0.5 秒的启动电流,如表 11所示。这时候,实际电流将立即下降到最大满负载电流。

所提供的电气短路和接地故障保护装置与电力系统的连接点的保险丝必须满足表 11中标示的等级 CC 的值。如果当地无法使用这些数值,同等级的型号为 aM 的欧洲标准的保险丝也可以使用。

表 11 - 电气数据 (三相泵,项目编号 -905 泵标称电压 (V 频率 (Hz 功率 (W 满负载电流 (A 启动电流

最大保险丝等级 (A

RV3 和 RV5220-240502501.710.22.5 200-230603001.710.22.5 380-415502501.05.72.5 460603001.07.02.5 RV8 和 RV12220-240504502.514.04.0 200-230605502.912.04.0 380-415504501.59.02.5 460605501.58.72.5

A652-01-846 S期

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。安装

A652-01-846 S期 3 安装 3.1 安全

您必须首先确保旋转叶片泵适合于您的应用条件。如果您对旋转叶片泵是否适合您的应用条件有疑惑, 请参见 Edwards 的真空泵和真空系统安全指南 (可以在本手册前面的目录列表的后面部分找到相关的出版物。必须经过适当的培训,由经过指导的技术人员来安装 RV 泵。在安装泵时,必须遵守下列安全指导,特别是在将

泵连接到现有系统时尤其要注意。在本指南的适当位置,会给出特定的安全预防措施的详情。

z当您要接触可能会被污染的部件时,一定要穿着适当的安全防护服。 z在开始安装工作之前,请让真空系统通风并清洗。

确保安装技术人员熟悉与泵 -油以及抽取系统相关产品的安全操作规程。要采取适当的预防措施,以避免吸入油

雾,并避免过多的皮肤接触到泵油,长时间的接触可能会对身体造成损害。 z 断开抽取系统中其他部件与电源的连接,以免它们意外运行。 3.2系统设计注意事项

设计抽取系统时应考虑以下几个事项: z

如果要让泵在抽取可冷凝蒸汽之前经过预热,或者希望在泵关闭后得到额外的系统保护,请使用合适的阀将泵和真空系统隔离开来。

z避免大量热工艺气体进入泵中,否则泵会过热并停滞,导致马达的热过载保护装置启动。

如果在环境温度非常高的情况下使用泵并且要处理的气体量很大,泵身温度可能会超过 70°C,您必须穿着合适的防护装备,以避免直接接触到太烫的表面。

z确保排气管道不被阻塞。如果有排气隔离阀,请确保在阀被关闭时,千万不要启动泵。

在关闭抽取系统时必须提供入口气体清洗,以稀释有害气体,使其达到安全的浓度。用于引入清洗气体的空气稳定器转接器作为附件提供 (请参见章节 7.4.8 。

警告

我们不推荐使用特制的碳氢化合物旋转叶片泵来抽取有危害的物质。特制的 PFPE- 泵适合于有氧气的应用条件:参见章节 8

。

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3.3打开和检查包装箱

1. 去除所有的包装材料,将泵从包装箱中取出。

2. 取下入口和出口端子上的保护盖,仔细检查一遍泵的情况。如果泵有损坏,请在 3 天内以书面形式通知您的供应商

和运输商,并告知泵的项目编号以及您的定单号和供应商的发票号。检查时保留所有包装材料。如果泵已损坏,请勿使用。如果不立即使用泵,应重新包上保护性遮盖物。按照章节 6.1中所述,将泵存放在合适的地方。

3.4确定泵的位置

RV3 和 RV5 泵具有一个提拉手柄,用手就可以移动泵。如果您想要使用机械式的提升设备,请不要将设备连接到这个提升手柄上;为了稳定起见,请使用合适的吊索,捆绑住马达和泵身。

请不要尝试用手去提 RV8 和 RV12 泵。必须使用机械提升设备,将其与泵的提升支架固定到一起进行提升。也无需使用绳索来移动 RV8 和 RV12 泵。

为泵提供一个结实的水平支撑平台。固定好泵后,油 -位目视 -镜应该可见,并且填注塞、排放塞以及气体稳定控制器要很容易够到。

如果泵放置在一个封闭的环境中,请确保泵的两端有足够的通风和对流,以使泵的环境温度不超过 40°C。在泵和四周包围物之间的距离,最少不得小于 25 毫米。

3.5向泵中填注油

按下所述方法向泵填注油。请参见章节 2.5 获取有关推荐油品的信息。请参见图 1以查看项目编号 (圆圈中。 1. 拔掉其中一个填注塞 (6

2. 将油注入泵中,直到油面到达目视镜 (8 顶部的基座的最高线标记 (MAX 为止。如果油位超过了 MAX 标记,请拔下

排放塞 (9,将油从泵中放出一部分来。 3. 几分钟后,重新检查油面高度。现在如果油面高度低于 MAX 标记,请再注入一些油到泵中。 4. 重新盖上填注塞。用手把塞子拧紧。但不要拧得过紧。

警告

应使用合适的起重设备来移动 RV8 或 RV12 泵。 RV8 和 RV12 泵的重量大约为 26千克。

警告

在浓度 (按体积超过 25% 的情况下,不得使用特制的碳氢化合物泵来处理氧气。如果依然这样做, 可能会引起泵油箱起火爆炸的危险。特制 PFPE-泵的适用情形:参见章节 8

。

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3.6安装马达 (如果是光轴泵

如果您的泵是一个光轴泵,现在需要将马达安装到泵上:参见章节 9。 3.7

电气安装: 单相泵 3.7.1

检查并配置马达注意

确保马达依据您所选择的电源情况正确配置。如果没有根据所选电源情况正确配置马达而贸然启动泵,可能会损坏马

达。

请参见图 4以查看项目编号 (圆圈中。

请确保马达外壳的电压指示器 (4 上显示的电压与您所选择的电源电压相符。如果不相符,您必须改变泵所带马达的配置,使其与所选电源电压匹配。按如下步骤操作。

1. 拧开四个螺丝,将盖板 (1 打开,取出电压指示器模块 (4。 2. 按下电压选择开关 (3,选择到另一个合适的位置。

3. 将电压指示器模块翻转过来,这样外部面板能显示所需要的电压。将模块重新装好。 4. 重新盖上盖板,紧固好四个螺丝。

3.7.2将泵连接到电源系统注意:

在英国, 如果您使用的是一个 13A 插头, 则必须符合 BS1363A 标准, 并且使用符合 BS1362 标准的 13A 保险丝。

为了防止在出现电力故障后重新供电时泵 -马达自动重新启动,请将泵通过适当的控制装置连接到电源中, 这样可确保在电源故障发生后,需要手动重置。

将泵 -马达电源连接到符合当地的电气标准的 IEC320 电缆插座 (冷调节类型。为了保证符合加拿大标准协会 (CSA 标准,您必须只使用 CSA/UL 验证的电缆和接头。

必须采用 SJT 级电缆 (至少 ,并且必须充分接地。电缆导线必须符合最小为 18AWG 的线规标准。电缆的所能承受的额定温度必须是 70°C 或更高。

警告

确保 RV 泵的电气安装符合所在国家 (地区以及当地的安全要求。它必须连接到带有保险的合适的保

护性电源,并且正确接地。 A652-01-846 S期页 20

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。安装

如果 RV 泵通过电源电缆供电,则电缆必须在其中一端安装有一个模块化的 IEC 接头。电缆的另一端,则安装有一个满足当地电源标准的插头。不带插头的电缆必须包含不同颜色标记的线,如下所示:

1. 确保马达 (图 4中项目 5的开关按钮处于关的位置 (off。

2. 将电缆带有模块化 IEC 接头的一端插入到马达 (图 4 中项目 2电气入口接头上。

3. 如果电缆的另一端有插头,则将插头连接到电源上。如果没有插头,则将电缆的各条分线,正确连接到电源的各个

端口上。

3.7.3检查旋转方向

注意

确保泵的马达旋转方向没有搞错。如果搞错了方向,泵和真空系统可能会过压。请参见图 1以查看项目编号 (圆圈中。

1. 通过马达风扇盖 (13,观察马达冷却风扇 -的情况。 2. 使用开关按钮 (12,打开 -马达电源,保持几秒钟。

3. 检查马达冷却风扇 -是否按正确的方向 (14 旋转。马达风扇盖上标记有正确的方向的箭头。如果旋转方向错误,请

立即关闭电源,联络您的供应商或 Edwards 公司以获取建议。颜色用途

绿色和黄色接地 (地线蓝色不带电 (零线棕色带电 (火线

A652-01-846 S期图 4 - 马达电压配置单相泵 A. 马达顶视图

B. 马达顶部的内部详情 1. 盖板 2. 电气入口接头 3. 电压选择开关 4. 电压指示器 5. 开关按钮

6. 位置 ‘0’ (关 7. 位置 ‘I’ (开

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页 22

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。安装 3.8

电气安装: 三相泵 3.8.1

检查并配置马达注意

确保马达依据您所选择的电源情况正确配置。如果没有根据所选电源情况正确配置马达而贸然启动泵,可能会损坏马

达。

1. 拧下用来固定马达接线盒 -盖子的螺丝。取下盖子。

2. 取出接线盒内部的电缆 -密封套,将电缆密封套塞入到接线 -盒侧面的电缆引入孔上。

3. 确保马达依据您所选择的电源情况正确配置。如果需要,按如下方法,重新配置各个链接 (5 和 6,项目 1 ,以适

合您所选择的电源:

z对于 200-230V 的电源,链接的配置如图 5 所示。 z 对于 380-460V 的电源,链接的配置如图 6 所示。 3.8.2将泵连接到电源系统注意:

为了防止在出现电力故障后重新供电时泵 -马达自动重新启动,请将泵通过适当的控制装置连接到电源中, 这样可确保在电源故障发生后,需要手动重置。

为了保证遵守 CSA (加拿大标准协会的标准,您必须在泵的电源系统中,包括一个开关或断路器。开关或断路器必须靠近泵,很容易够到,并且必须标注清楚以利于辨别这是一个用于泵的电气断开设备。

我们推荐将电源通过具有热力式过电流保护装置的启动开关或断路器连接到马达上,以便调节以满足表 11中显示的满负载电流的额定要求。表 11 中的保险丝额定值仅供参考。您的热力式过 -电流保护设备的供应商可能会指定几个不同的值,以确保正确操作保险丝和过电流保护设备。确保您所使用的保险丝适合于表 11 中给出的启动电流值。 1. 将电源电缆穿过电缆密封管。电缆的直径必须介于 7到 11mm 之间。

2. 使用绝缘的波纹接头,将电缆的电线连接到接线盒中的 U1、 V1 和 W1 以及接地点(地线端子上,如图 5 和 6所

示。必须紧固好接地端子连接,扭矩为 2.13到 2.87Nm 。 3. 确保盖子垫圈放置正确,然后重新盖上接线盒的盖子,拧紧螺丝。拧紧电缆密封管上的张力缓解螺母。

警告

确保 RV 泵的电气安装符合所在国家 (地区以及当地的安全要求。它必须连接到带有保险的合适的保

护性电源,并且正确接地。

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图 5 - 三相电路连接: 200-230V 图 6 - 三相电路连接: 380-460V A. 启动开关 /接触开关 B. 马达接线盒 1. 链环

A. 启动开关 /接触开关 B. 马达接线盒 1.

链环

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Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。安装

3.8.3检查旋转方向注意

确保泵的马达旋转方向是否正确。如果方向错误,泵和真空系统可能会过压。 1. 参见图 1。通过马达风扇盖 (13,观察马达冷却风扇的情况。 2. 打开马达的电源开关几秒钟。

3. 检查马达冷却风扇是否按正确的方向旋转,马达底座上标记有正确方向的箭头。如果旋转方向不正确:

z立即关闭电源。 z断开泵的电源。

z打开接线盒盖,交换线路 L1 和 L3: 请参见图 5 和 6。 z 重新盖上接线盒的盖子。 3.9入口和出口连接

在将泵连接到真空系统之前,请将定心环和入口过滤器 (随泵提供连接到泵的入口端子上 (请参见图 5 。在将泵连接到真空系统时, 应注意以下事项。请参见章

节 7.4 获取以下提及的附件的详细信息。连接泵时, 请使用标准 NW25 适配件 (未提供。

z为了获得最佳抽取速度,请确保连接到泵入口的管道尽量短,内径为 25mm 或者更大。 z支撑真空管道以防止连接头结合点过载。

必要时,应在系统管道中加装活动的风箱以减少颤动并防止连接头结合点过载。如果使用活动的风箱,必须确

保所使用的风箱的最大额定压力大于系统中可能产生的最大压力。我们推荐使用 Edwards 的活动风箱。 z如果抽取冷凝蒸汽或者希望在布满灰尘的环境下使用泵,您还必须使用合适的入口捕集器。 z如果想要抽取冷凝蒸汽或在泵关闭时保持真空,需要使用合适的阀将泵和真空系统隔离开。 z

确保密封表面干净,没有划痕。警告

将排放的废气连接到合适的处理工厂,以防止向周围大气中释放危险气体或蒸汽。使用承接罐装置,以

防止排出的被污染冷凝物重新进入泵。

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在以下几种环境条件下,我们建议您为泵出口安装油雾过滤器: z如果在使用泵时,将气体稳定控制器打开 (置于位置 ‘I’ 或位置 ‘II’ 。

z如果在使用泵时,入口压力很长一段时间大于 10mbar (1x 10³Pa 。 z如果经常在低于大气压力的情况下启动泵。

油雾过滤器将收集泵中排出的废油;如果这些油没有受到污染,还可以被再度使用。

3.10对系统进行泄漏测试

RV 泵安装完毕后,应对系统进行泄露测试并密封所发现的任何泄漏部位,以防止系统排放的有害物质泄漏出来,同时也防止外部空气进入泵中。

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页码 27Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。操作 A652-01-846 S期

4操作 4.1

ATEX 规定的含义 4.1.1简介

本设备设计符合第二大组第三小类(Group II Category3设备的要求,遵守欧洲议会和 1994 年 3 月 23 日委员会所制定的有关欧盟各成员国近似法律的 94/9/EC 规定。本规定主要讨论的是在潜在的爆炸环境下所使用的装备和保护系统。 (即 ATEX 爆炸环境规定

ATEX 第三小类 (Category 3有关设备内部潜在的着火源。 ATEX 类别未被指定对设备之外潜在的着火源负责,同样, 设备未被设计为适用于外部的潜在爆炸环境中。

在正常操作情况下,泵内部不应该有潜在的着火点出现,但是,在某些可预计的情况下或本规定中定义的几个极少故障情况下,依然可能存在潜在的着火点。因此,虽然本泵设计为可以抽取易燃的材料和混合物,在操作过程中,依然应该确保处于正常和合理的可预计环境中,这些易燃的材料和混合物应该处于爆炸的限定条件之内。第三小类

(Category 3被认为适合于在少数几个故障的情况时可免于着火,在这种情况下,允许易燃材料和混合物可以通过泵,而限定在爆炸的限度之内。

4.1.2易燃 /易着火材料

当设备内有易燃或易产生火花的材料时,您必须确保: z

不得允许空气进入到设备中。 z

确保系统密封紧固。 z使用入口气体清洗(比如氮气清洗稀释进入泵入口的易燃气体或蒸汽,并 /或使用入口气体清洗降低泵中和排

气管中易燃气体或蒸汽的浓度,将其降低到 25% 的气体标称最低爆炸限度 (LEL。

在泵的气体稳定器连接中使用入口气体清洗,可以防止泵结构和排气管中易燃蒸汽的凝结。警告

切勿将您身体的任何部位暴露在真空中。否则,您可能会受伤。

警告

您必须遵守指南的规程,并注意下面给出的预防措施,以确保所抽取的气体不会达到它们的易燃范围。

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Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。操作 4.1.3气体清洗打开入口气体清洗,在处理过程开始之前,将泵中和排气管中的空气排干净。在处理过程结束时,确保所有残留的易燃气体和蒸汽都已经从泵和排气管中排出之后,再关闭清洗气体流。

如果产生易燃蒸汽的液体可能存在于泵的前级真空管线中,则 RV3、 RV5、 RV8 和 RV12 旋转叶片泵的入口气体清洗功能必须一直开着,直到这些液体消失为止。前级真空管线中存在的易燃液体是因为冷凝的缘故,或者是在处理过程中被带入的。

在计算稀释过程所需的入口气体流速时,必须考虑可能出现的易燃气体和蒸汽的最大流速。比如,如果主流速控制器用于在处理过程中提供易燃气体,则必须假定在主流速控制器全开时,易燃气体的流速会相应地升高。

持续测量入口气体清洗的流速: 如果流速低于所需的流速,您必须停止易燃气体或蒸汽进入泵中。

注意:我们推荐您从 Edwards 公司或您的供应商那里获取并阅读《真空泵和真空系统安全手册》 (出版号

P300ñ20ñ000以了解更多信息。 4.2

如何使用泵控制器 4.2.1简介

您可以使用模式选择旋钮 (图 1,项目 11以及气体稳定控制器 (图 1,项目 5 ,根据应用条件的不同,优化 RV 泵的性能。泵的性能特性随着不同的控制设置会有所不同, 如表 3 和 4 所示。您可以在泵关闭甚至泵运行过程中, 随时改变模式选择旋钮和气体稳定控制器的位置。警告

如果使用入口气体清洗来将危险气体稀释到安全的等级,应确保在入口气体供应出现故障时,一定要关闭 RV3、

RV5、 RV8 和 RV12 旋转叶片泵。警告

您必须遵守指南的规程,并注意下面给出的预防措施,以确保所抽取的气体不会达到它们的易燃范围。

A652-01-846 S期 4.2.2模式选择旋钮

注意:本泵在提供时,默认是选择高真空模式 6。如果已选择的是 “高真空”模式,并且无法通过手动调节模式选择旋钮的方式来选择 “高处理能力”模式,则应使用模式选择旋钮面板上的适当工具来调节选择旋钮。

模式选择旋钮控制带有压力的油流入泵的高真空级的流速 (请参见章节 1.4.1 。您可以将模式选择旋钮置于如下两个位置的一个:

要选择高真空模式 6,请用手将模式选择旋钮往顺时针方向拧到底,然后固定住。在高真空模式被选中时,在模式选择旋钮和泵的侧面板内侧之间大约有一个 3mm 的间隙。使用该模式,可以:

z获取极限真空 z抽取清洁的气体

z抽取清洁的可冷凝蒸汽。

要选择高处理能力模式 6,请用手将模式选择旋钮逆时针转到底,直至触到泵侧面板的内侧,然后轻轻地固定住。使用该模式,可以:

z在长时间高气体通过量 (即入口压力维持在 > 50mbar 的情况下运行 z抽取污浊的可冷凝蒸汽 z净化油品。 4.2.3气体稳定控制器

使用气体稳定控制器可以改变进入到泵的低真空级的空气或入口气体的量 (请参见章节 1.4.2 。使用气体稳定器可以防止在泵中的蒸汽凝结;蒸汽凝结可能会对油造成污染。您可以将气体稳定控制器旋转到以下三个位置的一个:

要关闭气体稳定控制器,请将控制器旋至位置 ‘0’ 使用该设置,可以: z获取极限真空 z抽取干燥的气体

要选择低流速气体 -稳定控制器,请将控制器旋至位置 ‘I’ 使用该设置,可以:

z抽取低浓度的可冷凝蒸汽 z净化油品。

要选择高流速气体 -稳定控制器,请将控制器旋至位置 ‘II’ 使用该设置,可以: z抽取高浓度的可冷凝蒸汽

在使用低流速或高流速气体稳定控制器时,泵的油量消耗率可能会增加。如果可能的话,我们建议您选择低流速气体稳定控制器 (位置 ‘I’ ,而不用选择高流速气体稳定控制器 (位置 ‘II’ ,以降低油的消耗。

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Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。操作 4.3启动过程

如果油被污染,或者泵的温度低于 12°C,或者电源电压比电压指示器 (图 4,项目 4上指定的最低电压还低 10%, 则泵可能会在几分钟之内一直降速运行。在单相 -泵上,如果泵持续低速运转,则会启动马达热过载设备,停止泵的运转。等到马达冷却后,热过载设备将自动重新复位,泵将重新启动。 1. 检查泵的油位处于油 -位目视镜基座上的 MAX 和 MIN 标记之间,如果不是,请参见章节 5.3 进行操作。 2. 根据需要,将模式选择旋钮完全顺时针转到高真空模式 6 或完全逆时针转到高处理能力模式

6(请参见章

节 4.2.2 。 3. 根据需要,将气体稳定控制器位置旋到 ‘0’ , ‘I’ 或 ‘II’ 位置 (请参见章节 4.2.3 。 4. 打开泵的电源开关;在单相泵时,使用开关按钮。

5. 如果想要获得极限真空,以抽取可冷凝的蒸汽,或净化泵油,请分别参见 4.4、 4.5和 4.6 节中所述的过程。否则, 请打开真空系统隔离阀。

4.4获取极限真空

如果泵没有获得章节 2.2中所指定的性能,请确保不是因为您的系统设计问题,如果问题依然存在,请联系您的供应商或 Edwards 公司获取进一步建议。特别是,您的真空系统所用到的所有材料 (包括泵油,如下的汽压,都必须大大低于泵的指定极限真空环境下的压力。请参见章节 5.12.3 获取无法取得指定性能这一故障的可能原因列表,注意通常最大可能来自于:

z您的压力测量技术或测头不适合,或者测量头有缺陷。 z

您使用的油品非推荐油品,油的汽压超过了泵的指定极限真空值。请使用下述步骤,获取极限真空:1. 将 RV 泵与真空系统隔离开。

2. 将模式选择旋钮旋转到高处理能力模式 6,将气体稳定控制器设置为低流速 (位置 ‘I’ ,并使泵运转至少 1小时 (或整夜运转 ,以彻底地清洗被污染的油。 3. 将模式选择旋钮旋转到高真空模式 6并关闭气体稳定器控制功能 (即将其置于位置 ‘0’ 。打开真空系统隔离阀,泵慢慢进入极限真空状态。

警告

确保您的系统设计没有允许排气管被堵塞。

A652-01-846 S期 4.5抽取可冷凝蒸汽

在处理气体过程中,如果可冷凝蒸汽所占比例很大,则应使用气体稳定 (气体稳定控制器位置为 ‘I’ 或 ‘II’ 。

1. 关闭真空系统隔离 -阀。

2. 根据需要,将模式选择旋钮完全顺时针转到高真空模式 6或完全逆时针转到高处理能力模式 6(请参见章节 4.2.2 。

3. 将气体稳定控制器旋至高流量位置 (位置 ‘II’ 并让泵运行 30分钟,使油加热;这将有助于防止在泵中产生蒸汽冷凝。

4. 根据您的应用条件,设置气体稳定控制器的位置 (请参见章节 4.2.3以及表 3和 4中的详细数据。

5. 打开真空系统隔离阀。

在抽取可冷凝的蒸汽后,如果需要,您可以净化油品:请按照章节 4.6中的步骤执行操作。

4.6净化油品

泵中的油必须是清洁干净的,如果油混浊或者已经变色,表明受到排出的蒸汽的污染。

1. 通过油位目视镜 (图 1, 项目 8 ,仔细检查油品的状况。如果油混浊或已经变色,请继续下面的第 2 步。

2. 关闭真空系统隔离阀。

3. 将模式选择旋钮逆时针旋转到头,选择高处理能力模式 6。将气体稳定控制器设置于低流量位置 (位置 ‘I’ 。

4. 保持泵的运转,直到油变清澈。 4.7自动化运转

RV 泵设计为可以在章节 2.1中指定的正常运转条件下无人照看自动运行。然而,我们建议您不定期检查泵的运转情况,周期不要超过 14天,在抽取大量气体或蒸汽时,需要提高检查频率。

在单相泵上,马达受过载设备保护,它可以在出现极端温度或电流水平时将泵与电源隔离开。过载保护设备会在马达冷却时自动重启。检查泵的时候,请确保泵不会进行不断循环的热过载故障和自动重置。如果需要,可将模式选择旋钮变换到高处理能力模式 6并减小抽取气体所带来的热负载,以防止泵出现过热现象。

A652-01-846 S期操作 4.8关闭

正如以下过程所述,我们建议您净化油品后再关闭泵,这样可防止因油品受污染而对泵造成损害。

1. 请参见章节 4.6,根据需要进行油品净化。 2. 如果还没有关闭真空系统隔离阀,请关闭之。

3. 关闭气体稳定功能 (即将气体 -稳定控制器位置设置到 ‘0’ 。 4. 在单相泵时,可以使用开关按钮关闭泵。 5. 断开泵的电源。

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。维护

A652-01-846 S期 5 维护 5.1 安全信息

z如果您的泵是特制的 PFPE-泵,在对泵进行维护之前,请参见章节 8。 z必须由经过专门培训的高级技术人员来维护泵。遵守当地和国家 (地区的安全要求。 z确保维护技术人员熟悉与泵油以及抽取系统相关产品的安全操作规程。 z在开始前,请检查是否备齐了所需的所有部件以及部件类型是否正确。 z将泵和其他部件与电源隔离,以免它们意外运行。

在开始维护工作之前,必须先让泵冷却下来 (以使泵处于安全温度,不会烫伤皮肤。确保泵被断开开关,否则热过载设备可能会重新启动泵。

z如果 “ O ”形圈和密封已经损坏,请不要重复使用。

z维护完成后,如果已将电源断开,请重新检查一下泵的旋转方向。 z

在泵运转过程中,泵和泵 -油可能会被抽取的化学物品污染。确保泵在维护前不被污染,如果已发生污染,应采取足够的预防措施以保护工作人员免受危险物质的影响。

不要接触或吸入含氟的热分解产品,当泵温度达到 310°C 或更高时可能产生这些物质。含氟的物质在正常使用下并无危害,但如果被加热到 310°C 或更高,则可以分解成一些非常危险的物质,包括氢氟酸。当泵使用不当、泵出现故障或有火灾时,泵会变得非常热。您可以索取泵中所使用的含氟材料的材料安全数据表:请与供应商或 Edwards 联系。

必要时,按照随马达提供的生产信息所指定的方法对马达进行维护。警告

请遵守下面给出的安全说明并采取适当的预防措施。否则,可能导致人员伤害和设备损坏。

A652-01-846 S期维护 5.2维护计划

表 12中列出的计划,详细展示了日常使用过程中对 RV 泵进行维护所需要的日常维护操作。在所示的节中给出了每个操作的说明。

如果泵被用于抽取具有腐蚀性或有磨蚀的气体和蒸汽,比如一些溶剂、有机物质或酸性物质,则需要更经常性的维护; 在这几种情况下,我们推荐每年都要更换泵的密封件 (请参见章节 7.3获取有关备件的详细信息。必要时,可根据实际经验来调整维护计划。

在维护 RV 泵时,请使用 Edwards 公司提供的备件和维护套件,这些套件包含成功完成维护操作所需的所有部件。章节 7.3中给出了这些备件和套件的项目编号。

表 12 - 维护计划

操作频率参见章节检查油位每月 5.3 更换油每运行 3000小时 5.4 检查和清洁入口过滤器每年 5.5 检查和清洁气体稳定控制器每年 5.6 清洁油位目视镜每年 5.7

清洁马达风扇 -盖子和外罩每年 5.8

清洁和对泵做彻底检查每运行 15000小时 5.9 更换新叶片每运行 30000小时 5.10 测试马达状况每运行 15000小时 5.11 5.3检查油位

注意:如果需要,在泵运转时也可以检查油位,然而,如果要向泵中加油,则必须关闭泵并将泵和抽取系统中的其他附件与电源隔离开后才可以进行。

请参见图 1以了解项目编号 (圆圈中。

1. 检查目视镜 (8 中的油位是否处于目视镜基座的 MAX 和 MIN 油位标记之间。

2. 如果油位靠近最低 MIN 油位标记,请打开填注塞 (6,添加更多的油到油箱中,直到油面高度接近 MAX 油位标记。如果油 -位超过了 MAX 标记,请拔下排放塞 (9,将油从泵中放出一部分来。重新盖上填注塞。

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5.4更换油

1. 参见图 1。将泵运转大约十分钟使油加热,然后关闭泵 (这可以降低油的黏性,使之更容易从泵中排出。

2. 将泵与电源隔离并将其与真空系统断开。 3. 拔掉其中一个填注塞 (6。

4. 找一块合适的木头塞在泵马达下面,使泵有一定的斜度,然后在排放塞 (9 下面放一个合适的容器。拔掉排放塞,

使油排入容器中。

5. 如果从泵中放出的油已被污染,请将清洁的油加注到加注口中,并让这些油从泵中流出。重复此步骤,直到泵中的

油箱被彻底清洗干净。

6. 重新塞上排放塞,拿掉底下的木块,将泵重新连接到真空系统。

7. 在合适的容器中倒满干净的油,然后将油通过注油孔注入泵中,直到油位达到目视镜 (8 基座上的 MAX 油位标记。

8. 等待几分钟,让油充分进入到泵中。如果需要,再加一些油进去。重新盖上填注塞。

5.5检查和清洁入口 -过滤器

1. 参见图 7。将真空系统从泵入口端子 (3 上断开,然后去掉定心环和过滤装置 (1 以及 O形圈 (2。检查定心环和

O 形圈。如果它们比较干净,请继续第 5 步。如果不干净,请继续第 2 步。 2. 将定心环和过滤装置上 (1 的 O形圈 (2 取掉。请不要将 O形圈再跟清洁溶液进行接触。

3. 在合适的清洁溶液中,清洗定心 -环和过滤装置,然后晾干。 4. 如果需要,使用不带棉绒的干布擦拭 O形圈。

5. 重新将定心环和过滤装置以及 O形圈装配到入口端子上。重新将真空系统装配到泵的入口端子上。

图 7 - 入口 -

过滤器装置

1. 定心环和过滤器装置 2. O 形圈 3. 入口端子 A652-01-846 S期

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。维护 5.6检查和清洁气体 -稳定控制器

注意:气体稳定器的滤芯 (图 8,项目 7使用黏合剂保持在自己的位置上,请不要尝试取掉它。

1. 参见图 8。将气体稳定控制器 (1 旋至高流速位置 (位置 ‘II’ 。

2. 尽可能将控制器往下压紧弹簧 (6,然后轻轻将控制器按逆时针方向旋转,释放卡口耳柄 (5,取下控制器。

3. 如果需要,使用干净的不带棉绒的干布擦拭控制器,确保进气孔 (3 没有被堵塞。

4. 重新将控制器安装回气体稳定器入口上,确保弹簧位置正确卡在卡口耳柄之间。

5. 将控制器尽量往下按,然后轻轻地顺时针方向转动控制器,直到卡口耳柄正确啮合。

6. 重新将气体稳定控制器调整到需要的位置。图 8 -

气体稳定控制器装置 1.

气体稳定控制器 2. O 形圈 3. 进气孔 4. O 形圈 5. 卡口耳柄 6. 压缩弹簧 7. 滤芯

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5.7清洁油位目视镜

请参见图 9以查看项目编号 (圆圈中。 1. 按照章节 5.4 中所述将油排出。

维护 A652-01-

2. 取下两个螺丝 (1 并取下油箱 (5 上的基座面板 (2 、目视镜 (3 和 O形圈 (4。 3. 使用合适的清洁溶剂清洁螺丝、基座面板和目视 -镜。 4. 使用不带棉绒的干布擦拭 O形圈。 5. 使用干净的布擦拭油 -箱上的目视镜凹槽。

6. 重新将 O形圈、目视 -镜和基座面板安装回去,用两个螺丝紧固好。 7. 按章节 5.4 中所述向泵中重新填注油。 8. 检查目视镜不会有泄漏。图 9 -

目视镜装置 1.

螺丝 (x2,尺寸 M6x 20 2. 基座 3. 目视镜 4. O 形圈 5. 油箱 A652-01-846 S期

维护 5.8清洁马达风扇盖子 -和外罩

如果马达风扇 -盖子和外罩不保持清洁,通过马达的气流可能会受到限制,从而引起泵过热。

1. 关闭泵,将泵从电源上断开。

2. 使用干布和软刷,清除风扇盖子和外罩上的灰尘和沉积物。 5.9清洁和对泵做彻底检查

请按照清洁和彻底检查套件随附的指南,进行清洁并对泵做彻底检查 (详情请参见章节 7.3 。

5.10更换新叶片

请按照更换叶片套件随附的指南,为泵更换新的叶片。 (详情请参见章节 7.3 。 5.11测试马达状况

测试泵马达的接地情况和绝缘电阻,请根据当地有关电气设备定期测试的有关规定进行。

单相 RV 泵的马达必须符合 IEC1010-1 标准。为了保持遵循 IEC1010-1 标准, 我们推荐接地导通小于 0.1Ω, 而绝缘电阻大于 10M Ω。

如果马达无法通过这些测试,则必须更换马达。 5.12故障 -检测 5.12.1简介

下面章节中提供了故障状况及其可能原因的一个列表,可帮助您进行故障 -检测。如果使用本指南仍无法消除故障,请电话联系离您最近的 Edwards 服务中心以获得帮助。

5.12.2泵无法启动 z电源保险丝故障 z电源电压与马达不匹配

z出口管道或出口 -过滤器 (如果装配了的话被堵塞 z油温低于 12°C z油太过粘稠 z油被污染

z长时间存储后泵停滞

z抽取污染物后,泵无法继续运转,并停滞 z马达有缺陷。

A652-01-846 S期 5.12.3泵无法获得指定的性能,即无法达到极限真空 z您的压力测量技术或测头不适合,或者给出的是不正确的压力指示。例如,被污染的皮拉尼压力表 (Pirani测出的数据可能会比系统的真实压力高出好几倍。

z您可能为泵加注了错误类型的油 z真空系统中可能出现了泄漏

z模式选择旋钮和气体 -稳定控制器没有正确设置 z油位低于最低位置 z油被污染

z真空零件被弄脏或被损坏 z入口过滤器被堵塞 z泵没有被预热 5.12.4泵的噪音很大 z马达风扇盖受损 z马达轴承老化

z油被固体颗粒所污染。 5.12.5泵的表面温度超过 100°C

注意:如果入口压力持续超过 100mbar (1x 104Pa ,则在环境温度为 40°C 时, RV12 泵的表面温度可以高达 115°C。

z环境温度太高

z冷却空气供应不足,或者太热 z电源电压太高

z出口过滤器或出口管道被堵塞 z油位低于最低位置

z您可能为泵加注了错误类型的油 z油被污染

z工艺气体太热,或处理能力要求太高。 5.12.6泵关闭后,无法保持完全的真空

z气体稳定控制器处于开的状态 (即位置处于 ‘I’ 或者 ‘II’ z入口阀垫片已经损坏 z入口阀没有关闭。 A652-01-846 S期维护 5.12.7抽取速度太低 z连接管道的直径太小 z连接管线太长 z入口过滤器被堵塞 5.12.8存在外部油泄漏 z外部轴杆封口老化或损坏 z油箱垫圈性能恶化

z气体稳定控制器有油泄漏 z排放塞有油泄漏 z目视镜四周有油泄漏

6存储和废弃 6.1存储注意

请注意章节 2.1中注明的存储温度的极限。将泵存储在低于 -30°C 的环境中,将永久性损坏泵封口。

注意:如果要将新泵存储在高湿度的条件下,请将泵从硬纸板包装箱中取出,处理掉包装盒 (请参见章节 6.2 。按下列步骤存放泵:

1. 按照章节 4.8中所述关闭 -泵。 2. 断开泵的电源。

3. 使用干燥的氮气清洗真空系统和泵,然后断开泵和真空系统的连接。 4. 按照章节 5.4中所述更换新油。

5. 在泵入口、出口端子上放置并固定好保护盖。

6. 将泵存放在阴凉干燥的环境中,以便此后取用。如果需要,按章节 3所述准备和安装泵。如果泵存储时间超过一年,在安装泵之前,一定要仔细清洁和彻底检查一遍泵,请按照清洁和彻底检查套件随附的指南中所描述的方法进行操作。

6.2废弃

按照当地和国家 (地区的所有安全及环境要求安全地废弃泵和从泵中取出的任何部件。

特别要注意的是各种部件和废弃的油,这些油和部件可能已经被有害物质污染。

请勿焚烧含氟橡胶密封圈和 O形圈。 A652-01-846 S期

7服务和备件 7.1简介

可以从 Edwards 公司在比利时、巴西、中国、法国、德国、以色列、意大利、日本、韩国、新加坡、英国、美国的公司以及遍布全球的经销商处购买 Edwards 的产品、备件和附件。这些机构中的大多数都配有经过 Edwards 公司全面系统培训的服务工程师。

请从距离您最近的 Edwards 公司或经销商处购买备件和附件。购买时,请针对您需要的每个零件提供以下信息: z您设备的型号和项目编号

z序列号

z零件的项目编号和说明。 7.2维修

Edwards 产品由遍布 -全球的 Edwards 服务中心网络提供支持。每个服务中心都提供多种服务,包括:设备清洁;维修调换;重新组装和测试出厂规格。经过维修、修理或重新组装的设备享有完全质量保证。

您当地的服务中心还可以派出 Edwards 工程师提供现场 -维护、维修或修理设备的支持。

有关服务项目的详细信息,请与距离您最近的服务中心或其他 Edwards 公司联系。

7.3备件

请参见表 13以了解 RV 泵的可用备件和维护套件。 A652-01-846 S期页 44

Edwards 和 Edwards 标志是 Edwards Limited 的商标。服务和备件

表 13 - 备件和维护套件备件项目编号

碳氢化合物 -特制泵 PFPE-特制泵 Ultragrade 19 油, 1升 (LUltragrade 19 油, 4升 (LH110–25–015H110–25–013

– – Fomblin 06/6 油, 1千克 Fomblin 06/6 油, 5千克 – – H113–06–019H113–06–020清洁和彻底检查套件 (标准 A652–01–131A652–01–131RV3 叶片套件 A652–01–130A652–01–130RV5 叶片套件 A653–01–130A653–01–130RV8 叶片套件 A654–01–130A654–01–130RV12 叶片套件 A655–01–130A655–01–130RV3 滤芯套件 A652–01–032A652–09–032RV5 滤芯套件 A653–01–032A653–09–032RV8 滤芯套件 A654–01–032A654–09–032RV12 滤芯套件 A655–01–032A655–09–032入口 -阀套件 A652–01–036A652–01–036马达起动延迟套件 A505–74–000A505–74–000外部轴杆 -密封套件 A652–01–134A652–01–134轴套套件

A652–01–136A652–09–136RV3/RV5 马达套件 (欧洲 /美国

50/60Hz , 250/300W , 1相, 110-120/220-240V A652–99–000A652–99–000RV8/RV12 马达套件 (欧洲 /美国

50/60Hz , 450/550W , 1相, 110120/220-240V A654–99–000A654–99–000RV3/RV5 马达套件 (日本

50/60Hz , 250/300W , 1相, 100/200V A652–98–000A652–98–000RV8/RV12 马达套件 (日本

50/60Hz , 450/550W , 1相, 100/200V A654–98–000A654–98–000RV3/RV5 马达套件 (欧洲 /美国 /日本

50/60Hz , 250/300W , 3相, 200-230/380-460V A652–97–000A652–97–000RV8/RV12 马达工具套件 (欧洲 /美国 /日本 50/60Hz , 450/550W , 3相, 200-230/380-460V A654–97–000A654–97–000

清洁和彻底检查工具套件 (腈纶 A652–01–137

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