CASAXPS的简易用法

1. 软件为绿⾊破解版，将软件压缩包直接解压到电脑中，打开软件在Help>>About casaxps 输⼊User Name：G59 U Iowa和License：ffff2c44 >>update License>>ok（注意User Name中的空格）2. 打开数据： 打开数据*.VMS⽂件，或从file>>Open打开；

3. 标识并标注元素：左键双击全谱谱图（widescan），再点击左窗⼝，在⼯具栏中点击

，弹出周期表，点全谱（widescan）中的峰，周期表中会显⽰该峰位附近的可能元素。通常识别谱峰是什么元素，需元素各轨道的峰都能在谱图中找到。标识后左图会出现标识元

素各轨道位置，再点在peak label选项，按ctrl选择需要标注的峰再点，选择Annotation History选项，图中标识好的⽂字出现⼩红框可以在图中拖动到合适位置；然后在中点

4. 全谱中半定量计算：

选择⼀个样品的全谱，⽤标识谱图中的元素（上述3），或直接点，再

⼿动删除错误的标识，点击，左图出现百分含量，点，在regions选项中选择元素，放⼤该位置谱图调整（左键拖动）所扣背底（Background）的起始边和结束边。5.分谱中半定量计算：

5.1 先对样品的每个分谱进⾏扣背底（Background），然后选中要计算的元素，如图，在的report spec.选项中点，结果显⽰。

5.2如果要详细计算各化学状态的百分含量，则需对各峰进⾏分峰，并更改下图中的Name 以区别各元素状态：在的report spec.选项中点，结果显⽰。

5.3 只计算某元素的各化学状态的百分含量，则分峰，在的component选项卡下，显⽰：6. 数据处理：选择指定的谱图，点。通过不同的选项卡对谱图进⾏校准、平滑等。7. 数据的通常处理：

7. 1对谱图进⾏校准（calibration选项卡中，输⼊ture（实际值，⼀般以污染碳C1s 284.8eV 为标准），再点谱图中measure中显⽰⿏标点击的峰位置，点，再选择同⼀样品的其他数据点）如图：。

7.2对谱图扣背底（background）和分峰，点，在region选项卡中创建背底基线，基线的起始start和截⽌end边可以⽤⿏标拖动到合适位置，再在component选项卡中分峰。点就会出现⼀个拟合的峰分峰理论上是需要遵循分峰规则。详细分峰规则为⽹上搜索：

1.对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电⼦能谱中⼀般省略/2，即为p3、p1）强度⽐是⼀定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f 中同⼀价态的W4f7和W4f5峰⾯积⽐应为4:3。

2.对于有能级的能级（p、d、f），的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同⼀价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右，具体化学状态下能级的两个轨道之间的距离会有不同。

3.对于FWHM(半峰宽)，因为基本上样品是⽤Al（Mono）做的，在Pe10(只适⽤于本仪器），如单质银 Ag 3d5/2峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d3/2的FWHM尽量接近⼀致。⼤部分FWHM理论是⼩于2eV，但是也不⼀定，主要看⽂献和相关数据库。对于⼀致的仪器及仪器参数各数据的GL⾼斯－洛伦兹⽐应保持⼀致，具体数据不定。具体参数如下图

图中：（更改参数后要按回车确定）

RSF为相对灵敏度因⼦，

Line Shape为拟合峰的洛伦茨－⾼斯函数⽐【如GL（n）表⽰n=0纯⾼斯曲线，n=100为纯洛伦茨曲线】，对于⼀致的仪器及仪器参数各数据的GL⾼斯－洛伦兹⽐应保持⼀致，具体数据不定。部分⾦属单质的峰容易不对称，如Pt等，⽤可峰型 A（0.35，0.4，1）GL(50)。Area constr. ⾯积，⼀般.对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电⼦能谱中⼀般省略/2，即为p3、p1）强度⽐是⼀定的，p3:p1=2:1；d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同⼀价态的W4f7和W4f5峰⾯积⽐应为4:3。图中显⽰A峰⾯积:B峰⾯积＝4:3

Fwhm constr. 半⾼宽，⼀般因为基本上样品是⽤Al（Mono）做的，在Pe10(只适⽤于

本仪器），如单质银 Ag 3d5/2峰的FWHM为0.48eV左右，Ag 3d5/2和Ag 3d3/2的FWHM尽量接近⼀致，但部分氧化物的劈裂峰FWHM不⼀致，如TiO2中的Ti 2p，主要以看标准谱图为依据。⼤部分FWHM理论是⼩于2eV，但是也不⼀定，主要看⽂献和相关数据库。 Position constr. 对于有能级的能级（p、d、f），的两个轨道间的距离也基本上是固定的，如同⼀价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV 左右，具体化学状态下能级的两个轨道之间的距离会有不同。7. 导出数据和谱图：

左键双击右窗⼝某⼀数据栏“如”（变淡黄），左窗⼝出现该谱图。7.1点击⼯具栏中标识的快捷按钮，弹出保存窗⼝；

7.2点击左窗⼝谱图，再点击标识的快捷按钮，弹出保存窗⼝。8.数据说明：

导出来的数据导⼊origin中后，会出现两组数据，⼀般⽤后⼀组数据X轴:B.E.(binding energy) Y轴：CPS(count per second)，注意圆圈中，B.E.是否该为X。

⼀般样品数据在casaxps中显⽰，例：图中表⽰5个样品的测试数据，每个样品的谱图为：widescan、O 1s、C 1s、Si 2p