洁净度等级标准

ISO 144 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。

根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空气洁净度分级标准： ISO144-1 （国际标准）

空气洁净度等级（N） ISO Class 1 ISO Class 2 ISO Class 3 ISO Class 4 ISO Class 5 ISO Class 6 ISO Class 7 ISO Class 8 ISO Class 9 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每m空气粒子） 0.1 um 10 100 1 000 10 000 0.2 um 0.3 um 2 24 237 2 370 10 102 1 020 0.5um 1um 5 um 3 4 35 352 3 520 35 200 352 000 8 83 832 8 320 29 293 2 930 100 000 23 700 10 200 1 000 000 237 000 102 000 83 200 3 520 000 832 000 29 300 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）

尘埃最大允许数/立方米 微生物最大允许数 粒径 数值洁净度级别 ≥0.5um ≥5um 浮游菌/立方米 沉降菌/皿 100 级 10,000 级 100,000 级 300,000 级 3,500 350,000 3,500,000 10,500,000 0 2,000 20,000 60,000 5 100 500 — 31 3 10 15 美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用） 空气洁净度等级（N） 1 10 100 1000 10000 100000 粒子最大浓度限值（个/每m空气粒子） 0.1 um ≥35 ≥350 0.2 um ≥7.5 ≥75 ≥750 0.3 um ≥3 ≥30 ≥300 0.5um ≥10 ≥100 ≥1000 ≥10000 ≥10000 35 um ≥1 ≥7 ≥70 ≥700 英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级： 空气洁净度等级（N） C D E F G H J K L M 粒子最大浓度限值（个/每m空气粒子） 0.3um ≥100 ≥1000 ≥10000 0.5um ≥35 ≥350 ≥3500 ≥3500 ≥35000 ≥35000 5um 0 0 0 ≥200 ≥200 0 0 ≥450 0 ≥4500 ≥500 ≥450000 ≥50000 10um 0 25 um ≥100000 ≥350000 ≥2000 ≥3500000 ≥20000 ≥200000 ≥45000 ≥5000 各种国际标准的比较：

美国联邦 美国联邦 英国标准 澳大利亚标准 标准 209D 标准 209E BS5295 AS1386 法国标准 德国标准 国际标准 日本标准 144-1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 JACA24 1 2 3 4 5 6 7 8 — AFNORX44101 VDI2083 1 10 100 1000 10000 100000 M1.5 M2.5 M3.5 M4.5 M5.5 M6.5 C D E G J K M 0.035 0.35 3.5 35 350 3500 — — — 4000 — 400000 4000000 0 1 2 3 4 5 6 7