MEMS谐振器[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：MEMS谐振器专利类型：实用新型专利发明人：何昭文

申请号：CN201420148846.5申请日：20140328公开号：CN204216861U公开日：20150318

摘要：本实用新型提供了一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，所述质量块中开设有多个孔径；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。

申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

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