一种石墨烯场效应晶体管阵列生物传感器及其制备方法和检测方法

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201810820855.7 （22）申请日 2018.07.24

（71）申请人 中国电子科技集团公司第四十九研究所

地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号

（10）申请公布号 CN1056742B

（43）申请公布日 2020.06.30

书

（72）发明人 夏露;刘智辉;程鑫;王成杨;李玉玲;刘志远 （74）专利代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所

代理人 贾泽纯

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种石墨烯场效应晶体管阵列生物传感器及其制备方法和检测方法

（57）摘要

一种石墨烯场效应晶体管阵列生物传感器

及其制备方法和检测方法，本发明涉及生物传感器及其制备方法和检测方法。本发明要解决现有石墨烯场效应晶体管生物传感器在检测过程准确度较低的问题。传感器由硅衬底、氧化层、第一金属栅极、第二金属栅极、栅绝缘层、第一石墨烯导电沟道层、第二石墨烯导电沟道层、第一组源、漏电极及第二组源、漏电极组成；制备：一、晶体管结构制作；二、石墨烯表面醛基化处

理；三、检测单元石墨烯表面修饰捕获抗体分子；四、检测单元和参比单元石墨烯表面其余活性位点封闭；检测：将传感器浸入到含待测抗原的溶液中，测得检测单元和参比单元石墨烯狄拉克点电压，差值对应标准工作曲线，得出待测物溶液绝对浓度。

法律状态

法律状态公告日2018-12-07 2018-12-07 2018-12-07 2018-12-07 2019-01-01 2019-01-01 2019-01-01 2020-06-30 2020-06-30 2020-07-21 2020-07-21

法律状态信息

公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更

法律状态

公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

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权利要求说明书

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说明书

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