一种类干涉镜面面型检测方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种类干涉镜面面型检测方法专利类型：发明专利

发明人：,陈磊,薛彭永,侯陶冉,李建欣,郭仁慧,马骏,朱日

宏

申请号：CN201911312955.X申请日：20191218公开号：CN1111216A公开日：20200508

摘要：本发明公开了一种类干涉镜面面型检测方法，将相机、显示器设置在载物台上方，使得显示器能的图像能投影到载物台且相机能够拍摄到投影图像，通过角点检测、平面标定法获取相机以及显示器的空间位置；将待测镜放置在载物台上，由显示器投影正交方向的周期条纹图，并用相机拍摄待测镜中变形的条纹图，通过四步移相算法和倍频全局相位求解算法解算全局相位分布；根据全局相位分布得到梯度数据并运用傅里叶变换积分法处理梯度数据得到重建面型，并对重建面型进行优化，得到最终测量面型。本发明无须预知面形来解决矢高不确定性，同时保证面型测量精度。

申请人：南京理工大学

地址：210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号

国籍：CN

代理机构：南京理工大学专利中心

代理人：岑丹

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