专利名称：一种旋转靶材专利类型：实用新型专利发明人：常代展,王雷
申请号：CN201820309832.5申请日：20180306公开号：CN208121190U公开日：20181120
摘要：本实用新型涉及磁控溅射靶材技术领域，具体到一种旋转靶材，旨在解决旋转靶材两端的背衬管易弯折的问题，其技术要点在于，一种旋转靶材，包括背衬管和套设于背衬管外的靶材体，所述背衬管和靶材体间通过焊料层相互接合，所述背衬管两端分别延伸于靶材体外侧，所述背衬管伸出靶材体的两端分别套设有套管，所述套管与背衬管螺纹连接，所述套管与靶材体抵接。套管增加了背衬管两端的整体厚度，有效提高背衬管的强度，防止背衬管弯折，并且，套管套设于背衬管外，防止背衬管两端在运输过程中受到撞击产生磨损。
申请人：南通安泰新材料科技有限公司
地址：226341 江苏省南通市通州区十总镇骑岸居四组
国籍：CN
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