专利名称：阴极旋转机构专利类型：实用新型专利发明人：朱安秋
申请号：CN201720825818.6申请日：20170710公开号：CN207072966U公开日：20180306
摘要：本实用新型公开了阴极旋转机构，包括：阴极源总成，安装在真空溅射腔室内壁上；阴极靶筒，一端连接至所述阴极源总成并可沿所述阴极源总成旋转；穿设在所述阴极靶筒内的循环水回水管，其连接至设置在所述阴极源总成上的供水管，且连通至所述循环水回水管与所述阴极靶筒之间的密封空间，所述密封空间连通至设置在所述阴极源总成上的出水管；设置在所述循环水回水管外壁上的多个磁铁；及设置在所述阴极靶筒另一端的驱动装置，以用于驱动所述阴极靶筒旋转。本实用新型提供的阴极旋转机构，结构简单，安全性能好，便于维护。
申请人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司
地址：215151 江苏省苏州市高新区浒关工业园浒泾路55号
国籍：CN
代理机构：苏州创元专利商标事务所有限公司
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