专利名称：用于制造部件的方法专利类型：发明专利
发明人：T·黑塞勒,N·雷伯德,J-L·黑尔费尔,D·理查德,S·格拉夫申请号：CN201280070334.5申请日：20121220公开号：CN104126152A公开日：20141029
摘要：本发明涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。
申请人：斯沃奇集团研究和开发有限公司
地址：瑞士马林
国籍：CH
代理机构：北京市中咨律师事务所
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