一种微机电系统磁执行器的制作方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种微机电系统磁执行器的制作方法专利类型：发明专利

发明人：易亮,欧毅,陈大鹏,景玉鹏,叶甜春申请号：CN200710121074.0申请日：20070829公开号：CN10137A公开日：20090304

摘要：本发明涉及微机电系统微型执行器技术领域，公开了一种微机电系统磁执行器的制作方法，包括：A.在硅晶片下表面上淀积氮化硅薄膜，上表面上淀积氧化硅薄膜；B.保护正面，背面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜窗口；C.正面光刻，刻蚀形成氮化硅薄膜执行器图形；D.正面光刻，打底胶，电子束蒸发Cr/Au，剥离形成金属线圈及电极；E.正面光刻，打底胶，蒸发种子层，电镀金；F.正面光刻，打底胶，去金去铬；G.正面泛曝，显影，打底胶，保护正面，腐蚀背面体硅直到氧化硅层；H.腐蚀氧化硅，释放执行器。本发明利用磁力为推动力，增强了执行器偏移振动能力，利用光刻胶作为绝缘材料，简化了制作工艺，避免了可能存在的应力、热效应等问题。

申请人：中国科学院微电子研究所

地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号

国籍：CN

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：周国城

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