音叉振荡器和其制造方法以及角速度传感器[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：音叉振荡器和其制造方法以及角速度传感器专利类型：发明专利

发明人：小栗慎也,多保田纯,小池雅人,清原友彦申请号：CN200980133440.1申请日：20090612公开号：CN102132128A公开日：20110720

摘要：本发明提供一种音叉振荡器和其高效的制造方法，压电振荡器(70、72)包含具有基台部(74)和脚部(76a、76b)的音叉型的振动体(78)。另外，压电振荡器(70、72)作为两个压电体基板(80、82)、中间电极(84)、表面电极(86、88、90)及全面电极(94)的层叠体形成。表面电极(86、88、90)由从基台部(74)向脚部(76a、76b)延伸的分割部(92a、92b)分割。与电路基板的连接部分的分割部(92a、92b)的宽度形成为比其它部分的分割部(92a、92b)的宽度宽。分割部(92a、92b)通过将在用于构成振动体(78)的压电体板上的全面上形成的电极用切割机切割或激光照射及蚀刻进行分割而形成。从而使得在电路基板上安时的绝缘可靠性好，且振荡器灵敏度高，S/N比良好。

申请人：株式会社村田制作所

地址：日本京都府

国籍：JP

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：张宝荣

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