一种新型多层复合图形化蓝宝石衬底的制备方法[发明专利]

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专利名称：一种新型多层复合图形化蓝宝石衬底的制备方法专利类型：发明专利

发明人：徐良,阳明益,蓝文安,刘建哲,褚君尉申请号：CN201810637647.3申请日：20180620公开号：CN108807147A公开日：20181113

摘要：本发明公开一种新型多层复合图形化蓝宝石衬底的制备方法，其方法为，利用光学镀膜技术在一片光洁的蓝宝石衬底晶片上依次沉积一定厚度的氧化硅(SiO)薄膜、氧化锆(ZrO)薄膜和氧化钛(TiO)薄膜，接着在其上均匀涂布一层紫外正向光刻胶，然后进行步进式曝光和显影工序；再进行ICP干法蚀刻，刻蚀完成后进行清洗，最后在其上沉积一层氮化铝(AlN)薄膜，得到多层复合图形化蓝宝石衬底晶片。本发明首先通过三种折射率依次递减薄膜材料的组合，增加了出光反射次数，使全反射现象发生的几率最小，从而可有效提高Mini‑LED的垂直光通量。相对使用传统图形化蓝宝石衬底的LED芯片亮度提高约10％以上，其次通过沉积氮化铝薄膜，AlN薄膜能极大地降低了外延生长中的翘曲，使氮化镓可以在复合薄膜上生长，进一步降低氮化镓的缺陷密度，LED芯片的输出功率可提高2％以上。

申请人：浙江博蓝特半导体科技股份有限公司

地址：321000 浙江省金华市南二环西路2688号

国籍：CN

代理机构：浙江杭州金通专利事务所有限公司

代理人：吴佩

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