制作垂直腔面发射激光器的方法及垂直腔面发射激光器[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：制作垂直腔面发射激光器的方法及垂直腔面发射激

光器

专利类型：发明专利发明人：王璐,王珈

申请号：CN202010199362.3申请日：20200320公开号：CN111384666A公开日：20200707

摘要：本发明提供了一种制作VCSEL的方法及VCSEL，方法包括：在衬底上依次外延生长缓冲层、电极下接触层、镓砷层、光层以及电光层；对电光层和光层进行光刻以形成通光圆孔；在电光层表面，依次外延生长空穴载流子势垒区、量子阱有源区、电子载流子区、反射镜层以及电极上接触层；在电极上接触层上制作n型电极层，将电极上接触层的外延面烧结在金属化的热沉上；去除衬底直至暴露电极下接触层；腐蚀电极下接触层、镓砷层直至露出空穴载流子势垒区，得到出光孔，在出光孔内淀积介质膜DBR；在电极下接触层上刻蚀并淀积介质隔离层；在电极下接触层外延表面，套刻制作不经过介质膜DBR的P型电极环。可以提高VCSEL的成品率。

申请人：北京嘉圣光通科技有限公司

地址：100000 北京市海淀区中关村东路1号院8号楼CG05-158号

国籍：CN

代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：刘亚飞

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