专利名称：流量探测装置专利类型：实用新型专利
发明人：张闻来,蒋锡兵,宋林飞,张溢钢,杨涛申请号：CN200920066832.8申请日：20090113公开号：CN2013183Y公开日：20091216
摘要：本实用新型提供一种流量探测装置，用以探测化学机械研磨设备的液体流量是否符合要求，所述流量探测装置包括流量计以及设置于所述流量计上的光学传感器，当所述流量探测装置探测到化学机械研磨设备的液体流量不符合要求时，报警装置报警通知操作人员，可确保晶片的清洗效果。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所
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