一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201721911113.2 （22）申请日 2017.12.30

（71）申请人凯盛光伏材料有限公司

地址 233010 安徽省蚌埠市高新区燕南路1001号

（10）申请公布号 CN207958476U

（43）申请公布日 2018.10.12

（72）发明人彭春超;蒋继文;朱登华;刘小雨（74）专利代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事务所

代理人杨晋弘

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池硒化炉的布气结构

（57）摘要

本实用新型提供一种铜铟镓硒薄膜太阳能

电池硒化炉的布气结构，它包括硒化炉（1），其特征在于：在硒化炉（1）的至少一面侧壁上设有一组排气孔（2），在硒化炉（1）另一侧的炉壁内设有喷气管（3），在喷气管（3）一侧的炉壁上设有RF辅助加热器（4）。本实用新型结构简单、使用方便、喷气均匀，有效的避免了喷气管正下方工艺气体浓度过高的问题。

法律状态

法律状态公告日

2018-10-12

授权

法律状态信息

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权利要求说明书

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说明书

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