含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法[发明专利]

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专利名称：含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法专利类型：发明专利

发明人：晋正茂,董燕军,武振国,王鑫申请号：CN2016112686.0申请日：20161230公开号：CN108261883A公开日：20180710

摘要：本发明公开了含有氯硅烷的硅烷尾气处理方法，其包括如下步骤：(1)氯硅烷一级冷凝；(2)氯硅烷二级冷凝；(3)分离得到硅烷气；(4)气体稳压罐稳压；(5)硅烷气燃烧。本发明的优点在于：回收硅烷尾气中的氯硅烷，回收的氯硅烷可回用于硅烷生产系统，减小物料损失，降低生产成本；本发明的燃烧系统具备多个燃烧头，且系统压力为正压，燃烧头暴露在空气中，上部为防辐射隔热罩，依靠烟囱效应，将燃烧器周围的空气积聚到燃烧器周围，与传统燃烧器相比，硅烷尾气与空气混合更加充分，因此燃烧效率明显提高，从而提高了硅烷尾气的处理量。

申请人：内蒙古神舟硅业有限责任公司

地址：010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街88号

国籍：CN

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