【CN110129852A】一种匀气盘的阳极上挂工艺【专利】

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 110129852 A(43)申请公布日 2019.08.16

(21)申请号 201910357116.3(22)申请日 2019.04.29

(71)申请人 沈阳富创精密设备有限公司

地址 110000 辽宁省沈阳市东陵区飞云路

18甲-1号(72)发明人 安朋娜　

(74)专利代理机构 沈阳优普达知识产权代理事

务所(特殊普通合伙) 21234

代理人 俞鲁江(51)Int.Cl.

C25D 11/02(2006.01)C25D 7/00(2006.01)C25D 17/08(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图2页

()发明名称

一种匀气盘的阳极上挂工艺(57)摘要

本发明是一种匀气盘的阳极上挂工艺，工件选择沉头孔裸铝小孔侧壁作为导电挂点，通过上挂治具固定到飞靶上。上挂治具头部为螺纹挂点，通过使用螺母与螺丝的对锁，以此实现良好的导电性。上挂治具与钛杆连接的一端与沉头孔大孔之间至少保持单边2mm的间隙，以保证沉头孔大孔段正常阳极化。该上挂工艺主要适用于只有沉头孔小孔侧壁裸铝的这一类匀气盘，设计与沉头小孔匹配的光杆上挂螺丝，以小孔侧壁为挂点进行阳极化。本发明工艺既能满足阳极氧化过程需要的导电挂点，同时能保证小孔侧壁裸铝。

CN 110129852 ACN 110129852 A

权　利　要　求　书

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1.一种匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：工件选择沉头孔裸铝小孔侧壁作为导电挂点，通过上挂治具固定到飞靶上。

2.按照权利要求1所述匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：上挂治具头部为螺纹挂点，通过使用螺母与螺丝的对锁，以此实现良好的导电性。

3.按照权利要求1所述匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：上挂治具与钛杆连接的一端与沉头孔大孔之间至少保持单边2mm的间隙，以保证沉头孔大孔段正常阳极化。

4.按照权利要求1所述匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：沉头小孔侧壁作为导电点，使用螺纹挂点与沉头小孔匹配；采用螺纹挂点作为上挂螺丝，并使用圆锥头螺母与螺纹挂点锁紧。

5.按照权利要求1所述匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：保证钛杆尺寸与沉头大孔之间至少留有4mm的间隙，以确保药液顺畅流通。

6.按照权利要求1所述匀气盘的阳极上挂工艺，其特征在于：将工件与上挂治具锁紧后，将连接螺纹与钛杆锁紧即可。

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CN 110129852 A

说　明　书

一种匀气盘的阳极上挂工艺

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技术领域

[0001]本发明属于表面处理加工领域，特别是涉及一种只能采用光孔侧壁作为挂点的匀气盘阳极化零部件。

背景技术

[0002]目前，IC装备制造行业中，一部分匀气盘与腐蚀性气体接触，这需要它具备良好的耐腐蚀性，因此，这部分匀气盘需要进行阳极化表面处理工艺。由于使用及装配要求，一部分匀气盘除了沉头孔小孔侧壁外没有其它可用的常规挂点作为导电点，导致阳极挂点选择及上挂操作困难。为解决这一问题，有必要设计一种专用的上挂工艺。发明内容

[0003]针对上述存在的技术问题，本发明的目的是提供一种匀气盘阳极氧化上挂工艺，以解决工件阳极化过程无挂点的问题。

[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的：

[0005]一种匀气盘的阳极上挂工艺工件选择沉头孔裸铝小孔侧壁作为导电挂点，通过上挂治具固定到飞靶上。

[0006]上挂治具头部为螺纹挂点，通过使用螺母与螺丝的对锁，以此实现良好的导电性。[0007]上挂治具与钛杆连接的一端与沉头孔大孔之间至少保持单边2mm的间隙，以保证沉头孔大孔段正常阳极化。

[0008]沉头小孔侧壁作为导电点，使用螺纹挂点与沉头小孔匹配；采用螺纹挂点作为上挂螺丝，并使用圆锥头螺母与螺纹挂点锁紧。

[0009]保证钛杆尺寸与沉头大孔之间至少留有4mm的间隙，以确保药液顺畅流通。[0010]将工件与上挂治具锁紧后，将连接螺纹与钛杆锁紧即可。[0011]本发明的有益效果是：

[0012]1.本发明能有效解决无挂点问题。其中与裸铝侧壁接触起到导电作用的部分为螺纹结构，并使用螺母从另外一端进行锁紧，以实现良好的导电性。[0013]2.本发明可以满足沉头孔大孔阳极化是需求。其中与螺纹头部相连的是光杆结构，且光杆尺寸整体比沉头大孔尺寸小4mm左右，保证了阳极过程中药水的流通性。附图说明

[0014]图1为本发明组合使用结构示意图。[0015]图2为上挂治具示意图。[0016]图3为工件示意图。

具体实施方式

[0017]下面结合附图1-3及实施例对本发明进行详细说明。

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CN 110129852 A[0018]

说　明　书

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一种匀气盘的阳极上挂工艺，工件3选择沉头孔裸铝小孔侧壁作为导电挂点，通过

上挂治具2固定到飞靶上。

[0019]上挂治具2头部为螺纹挂点21，通过使用螺母与螺丝的对锁，以此实现良好的导电性。

[0020]上挂治具2与钛杆22连接的一端与沉头孔大孔之间至少保持单边2mm的间隙，以保证沉头孔大孔段正常阳极化。

[0021]沉头小孔侧壁作为导电点，使用上挂螺丝与沉头小孔匹配；采用螺纹挂点21作为上挂螺丝，并使用圆锥头螺母与螺纹挂点21锁紧。

[0022]保证钛杆22尺寸与沉头大孔32之间至少留有4mm的间隙，以确保药液顺畅流通。[0023]将工件3与上挂治具2锁紧后，将钛杆22与连接螺纹23锁紧即可。[0024]实施例[0025]如图1、2、3所示，本发明工艺利用图3所示的沉头小孔侧壁作为导电点，使用上挂治具2与之匹配。其中螺纹挂点21作为上挂螺丝，并使用圆锥头螺母与螺纹挂点21锁紧。同时，保证钛杆22尺寸与沉头大孔32之间至少4mm的间隙，以确保药液顺畅流通。将工件3与上挂治具2锁紧后，将连接螺纹23与上挂钛杆锁紧即可。完成上述步骤后，即可将模拟零件及其挂具弯头固定到飞靶上，进行阳极化。

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说　明　书　附　图

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图1

图2

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说　明　书　附　图

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图3

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