一种复合衬底及复合衬底的制作方法[发明专利]

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专利名称：一种复合衬底及复合衬底的制作方法专利类型：发明专利发明人：赵中阳

申请号：CN201810099811.X申请日：20180201公开号：CN108321081A公开日：20180724

摘要：本发明公开了一种复合衬底及复合衬底的制作方法，在GaAs衬底(101)与Ge衬底(102)的键合面之间设置有粘结辅助材料层(103)，所述粘结辅助材料层(103)包括一个或多个粘结加固区域(104)，该粘结加固区域(104)包括粘结辅助材料并混合了Ge材料和GaAs材料；本发明采用两次键合工艺制备，通过第一键合工艺将GaAs衬底与Ge衬底连接在一起，并通过第二键合工艺结合激光照粘结加固区域(104)，从而进一步加固键合的粘结效果，提高复合衬底的键合可靠性。

申请人：北京派克贸易有限责任公司

地址：100000 北京市东城区东直门南大街9号

国籍：CN

代理机构：北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙)

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