专利名称：一种一维位移精密测量方法专利类型：发明专利发明人：俞红祥
申请号：CN201310213006.2申请日：20130531公开号：CN104215165A公开日：20141217
摘要：本发明属于测量方法类，具体是一种一维位移精密测量方法，其特征在于：将发射电极绝缘基板安装在固定参照物上，将接收电极绝缘基板安装在移动物体上，保持发射电极与接收电极平行，发射电极与接收电极之间有一微小空气间隙，用一频率、幅值稳定的高频正弦电压源激励发射电极的奇数电极互联母线，用同样频率和幅值、相位相反的高频正弦电压源激励发射电极的偶数电极互联母线，将接收电极的两个互联母线分别连接至信号检测电路，通过判断接收电极两路输出高频电压信号的幅值以及相位的相对关系计算得出被测量物体相对固定参照物的位移、运动速度以及运动方向。本发明方案灵活，测量精度高，传感原件安装精度要求低，易于在低成本自动化装置中推广应用。
申请人：浙江师范大学
地址：321004 浙江省金华市浙江师范大学36信箱
国籍：CN
代理机构：金华科源专利事务所有限公司
代理人：胡杰平
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