专利名称:激光装置专利类型:发明专利发明人:泷川宏,西尾明彦申请号:CN201611094239.5申请日:20161202公开号:CN106848811A公开日:20170613
摘要:一种能够可靠地防止结露的激光装置。在激光装置中,在激光振荡中,向激光装置的内部供给的冷却水的温度被控制为第一规定温度范围内,并且,持续进行除湿使得维持(激光装置的内部的空气的露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。根据激光装置的内部的空气的湿度和温度,通过计算部求出该空气的露点。
申请人:发那科株式会社
地址:日本山梨县
国籍:JP
代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:刘新宇
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