金属蚀刻剂及其制备方法

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201310310025.7 （22）申请日 2013.07.23

（71）申请人 苏州羽帆新材料科技有限公司

地址 215200 江苏省苏州市吴江区苏州河路18号

（10）申请公布号 CN103409753B

（43）申请公布日 2015.08.19

（72）发明人 戴晓宸;张其土 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

金属蚀刻剂及其制备方法

（57）摘要

本发明公开了一种金属蚀刻剂及其制

备方法。金属蚀刻剂包括以下重量份计的原料：羧甲基纤维素钠10-20份、硼酸30-40份、富马酸钠20-30份、甲基丁酸酯10-20份、10-20份、氯化苯甲酰4-10份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠10-15份、联苯胺黄2-10份、硬脂酸钡10-20份、偶氮二异丁腈20-25份。本发明的刻蚀速率高达70nm/min以上，而一般的碱性氯化铜蚀刻液的刻蚀速率仅为2nm/min，因此，本发明的金属蚀刻剂的刻蚀速率远远高于一般的刻蚀

液，提高了工作效率。 法律状态

法律状态公告日

2013-11-27 2013-11-27 2013-12-18 2013-12-18 2015-07-15 2015-07-15 2015-07-15 2015-07-15 2015-08-19 2015-08-19 2018-08-17

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权 授权 专利权的终止

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更

专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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