(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN201310310025.7 (22)申请日 2013.07.23
(71)申请人 苏州羽帆新材料科技有限公司
地址 215200 江苏省苏州市吴江区苏州河路18号
(10)申请公布号 CN103409753B
(43)申请公布日 2015.08.19
(72)发明人 戴晓宸;张其土 (74)专利代理机构
代理人
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
()发明名称
金属蚀刻剂及其制备方法
(57)摘要
本发明公开了一种金属蚀刻剂及其制
备方法。金属蚀刻剂包括以下重量份计的原料:羧甲基纤维素钠10-20份、硼酸30-40份、富马酸钠20-30份、甲基丁酸酯10-20份、10-20份、氯化苯甲酰4-10份、N-氯化对甲基苯磺酰胺钠10-15份、联苯胺黄2-10份、硬脂酸钡10-20份、偶氮二异丁腈20-25份。本发明的刻蚀速率高达70nm/min以上,而一般的碱性氯化铜蚀刻液的刻蚀速率仅为2nm/min,因此,本发明的金属蚀刻剂的刻蚀速率远远高于一般的刻蚀
液,提高了工作效率。 法律状态
法律状态公告日
2013-11-27 2013-11-27 2013-12-18 2013-12-18 2015-07-15 2015-07-15 2015-07-15 2015-07-15 2015-08-19 2015-08-19 2018-08-17
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
专利申请权、专利权的转移 著录事项变更
专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权 授权 专利权的终止
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
专利申请权、专利权的转移 著录事项变更
专利申请权、专利权的转移 著录事项变更 授权 授权 专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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